در خط تولید، تغییر تدریجی پروفایل لامپ هشدار نمیدهد. این تغییر به صورت یک نقطه داغ ۰.۳°C در سراسر ویفر، تغییرات آهسته در ابعاد بحرانی و پخش نامنظم رزین حساس به نور هنگام پخت دیده میشود. با افزایش عمر ابزار Mattson RTP، یکنواختی حرارتی اولین چیزی است که کاهش مییابد. لامپهای جایگزینی که استفاده میکنیم برای جبران این تغییر ساخته شدهاند و کنترل فرایند را به جایگاه اصلی خود بازمیگردانند.
هسته فنی این موضوع دقت گرمایش مادون قرمز است. ما هندسه اتاقک Mattson را با منابع مادون قرمز موج کوتاه تطبیق میدهیم، به گونهای که یکنواختی زیر میلیمتر در سطح ویفر و پروفایلهای دمایی قابل تکرار در هر بار اجرای فرایند ایجاد شود. آرایه لامپها طوری کالیبره شده است که ±۰.۱°C در ناحیه فعال حفظ شود، بنابراین مراحل پخت نرم و پخت سخت بودجه حرارتی مورد نیاز لیتوگرافی را تامین میکنند.
پایداری خروجی بیش از ۵۰۰۰ ساعت ارائه میشود، با افت شدت کمتر از ۵٪ و بدون تولید ذرات در حین افزایش دما و تثبیت حرارتی. تطابق با کلاس تمیزی Cleanroom Class 1–100 در طراحی لحاظ شده است، با قطعات کوارتز مهر و مومشده و رابطهای تمیزکاری که از ورود آلودگی به جریان فرایند جلوگیری میکنند.
دلیل اهمیت این موضوع در خط تولید عبارت است از: کاهش تعداد دستههای آزمایشی، افزایش دقت بازههای زمانی، و کاهش مصرف انرژی به لطف پاسخ سریع لامپ و تثبیت سریع دما. پروفایلهای رزین حساس به نور ثابت باقی میمانند که باعث کاهش دوبارهکاری و حفظ بهرهوری میشود. قطعه جایگزین بدون تغییرات در پلتفرم Mattson نصب میشود، با کانکتورهای مناسب و تلرانسهای نصب دقیق، بنابراین نصب آسان بوده و زمان توقف خط کوتاه باقی میماند.
چند نکته قابل توجه است. عمر لامپ تحت تاثیر قطع و وصل برق و ناپایداری دمای خنککننده کاهش مییابد. برنامهریزی تعویض باید در بازههای نگهداری برنامهریزیشده (PM) انجام شود، وضعیت بازتابنده اتاقک بررسی شود و پس از نصب کالیبراسیون منبع تغذیه تایید گردد تا یکنواختی در محدوده مشخص باقی بماند.