دیگر نیازی نیست منتظر بمانید تا هوای گرم، ویفرها را گرم کند؛ چرا که لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا، کار را به شکل مؤثرتری انجام میدهند.
اگر هنوز به استفاده از هوای گرم برای گرم کردن ویفرها اعتماد دارید، در واقع در حال انتظار هستید. شما هوا را گرم میکنید، سپس منتظر میمانید تا آن هوا ویفرها را گرم کند. این روش کند است؛ در صنعت فرآوری نیمههادی، این تأخیر نه تنها آزاردهنده است، بلکه باعث هدر رفت پول نیز میشود.
لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا، این مشکل را حل میکنند؛ آنها به جای استفاده از هوا، از انرژی تابشی برای گرم کردن سطح ویفرها استفاده میکنند.
مسئله، سرعت است.
گرمایش تابشی نیازی به واسطه ندارد؛ ما از فرستندههای مادون قرمز با موجهای کوتاه استفاده میکنیم که تقریباً بلافاصله سطح مورد نظر را گرم میکنند. فکر کنید: یک فر کنوکسیونی، چند دقیقه طول میکشد تا به دمای مورد نظر برسد؛ اما یک لامپ UHP، در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر میرسد.
این موضوع، یک مزیت بزرگ برای سرعت فرآیند تولید است؛ شما میتوانید ویفرهای بیشتری را در خط تولید پردازش کنید، بدون اینکه نیاز به فضای بیشتری برای تجهیزات جدید داشته باشید.
جزئیات مهم (و مشکلات)»
ما این لامپها را از کوارتز با خلوص بالا ساختهایم؛ چرا؟ چون در محیطهای با خلوص بسیار بالا، حتی یک تکه کوچک از تنگستن یا آلومینا میتواند کل محموله را خراب کند. این موضوع، یک وضعیت وحشتناک است که نمیخواهیم با آن روبرو شویم. همچنین، ما میزان ولتاژ و واتاژ را به دقت تنظیم میکنیم تا گرما به طور یکنواخت روی ویفرها پخش شود، و نقاط گرم خاصی ایجاد نشود.
اما مشکل اینجاست که این لامپها، مقدار زیادی انرژی را در یک ناحیه کوچک تخلیه میکنند؛ اگر سیستم خنککننده شما مناسب نباشد، ممکن است اتصالات و قطعات مربوطه ذوب شوند. بنابراین، باید اطمینان حاصل کنید که سیستم خنککننده شما کاملاً مناسب باشد.
کاربرد واقعی این لامپها»
هیچ کس نمیخواهد ساعتها وقت بگذارد تا یک ماشین خراب شده را تعمیر کند؛ به همین دلیل، ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به سرعت تعویض کرد. وقتی یک لامپ خراب میشود، کافی است لامپ جایگزین را قرار دهید تا خط تولید دوباره کار کند. ما از اتصالات استاندارد استفاده کردهایم تا نیازی به تغییر سیمکشیها در میانه فرآیند تعمیر نباشد.
نکته آخر: اگر قصد تغییر از استفاده از هوای گرم به استفاده از لامپهای مادون قرمز را دارید، نمیتوانید فقط آنها را وصل کنید؛ باید تنظیمات PID را نیز تغییر دهید. لامپهای مادون قرمز بسیار سریع هستند؛ اگر کنترلکننده را برای سیستم قدیمی تنظیم کنید، ممکن است دمای مورد نظر را فراتر بروید و قطعات را خراب کنید. تنظیمات را درست کنید و همه چیز درست خواهد شد.