انتخاب مناسب بازتابندههای مادون قرمز برای خشک کردن ویفرها
هنگام خشک کردن ویفرها، همه چیز به نحوه مدیریت حرارت بستگی دارد. اکثر مردم فکر میکنند که راهحل، افزایش توان لامپهاست؛ اما این کار اتلاف انرژی است. ما به جای آن، روی بازتابندهها تمرکز میکنیم. آنها راز موفقیت در اطمینان از این هستند که انرژی مادون قرمز واقعاً به سطح ویفر برخورد کند، و نه اینکه فقط فضای اطراف را گرم کند.
در حال حاضر، با توجه به تلاشها برای ساخت کارخانههای سبز، هدف افزایش توان نیست؛ بلکه هدف، استفاده بهینه از هر فوتون انرژی است.
مسیر واقعی انتقال حرارت
فکر کنید: لامپ خشککن بدون بازتابنده، در واقع نیمی از انرژی خود را هدر میدهد. این موضوع، اتلاف پول زیادی است.
ما از پوششهای طلا یا آلومینیوم برای بازتاب انرژی مادون قرمز به سمت ویفر استفاده میکنیم. این کار باعث افزایش جریان حرارتی میشود، بدون اینکه نیازی به افزایش توان لامپ باشد. بازتاب بهتر، به معنای مصرف کمتر انرژی برای هر ویفر است.
انتخاب مواد مناسب
نمیتوان از هر نوع فلزی برای ساخت بازتابندهها استفاده کرد؛ این موضوع بستگی به میزان حرارت تولید شده دارد.
آلومینیوم با خلوص بالا برای اکثر موارد مناسب است؛ اما در مواردی که حرارت بسیار زیاد باشد، از کوارتز پوشیده شده با طلا یا سرامیکهای ویژه استفاده میشود. چرا؟ چون گرما و سرما مداوم، باعث تغییر شکل مواد ارزانقیمت میشود.
همچنین، شکل بازتابنده باید دقیق باشد؛ اگر انحنای بازتابنده حتی چند میلیمتر اشتباه باشد، نقاط گرمی ایجاد خواهد شد. نقاط گرمی مشکلات زیادی ایجاد میکنند؛ زیرا باعث تغییر شکل ویفر یا خشک کردن ناهموار آن میشوند.
تعادل بین توان و فضا
کاهش میزان انرژی مصرفی در کارخانهها، معمولاً از طریق کاهش انرژی هدررفته شروع میشود.
وقتی از سیستمهای با بازتابپذیری بالا استفاده میکنیم، میتوانیم از لامپهایی با توان کمتر استفاده کنیم و همچنان به دمای مورد نظر برسیم. علاوه بر این، دستگاههای خنککننده کارخانه نیز نیاز به کار بیشتری نخواهند داشت. این روش، راهحلی بسیار خوب است.
اما یک مشکل وجود دارد: این بازتابندهها حرارت را به شدت تمرکز میکنند؛ اگر سرعت انتقال ویفر تغییر کند، ممکن است لبههای ویفر بیش از حد خشک شوند. بنابراین، باید سرعت انتقال ویفر و شدت نور را کاملاً هماهنگ نگه داشت؛ در غیر این صورت، محصولات نامرغوبی تولید خواهد شد.
ما این بازتابندهها را به صورت جایگزینهای مناسب طراحی کردهایم؛ به این ترتیب، میتوانید به اهداف کاهش انرژی خود برسید، بدون اینکه نیازی به تغییر کل دستگاه باشد.