چرا از سپرهای کوارتز برای لامپهای کارخانههای تولید نیمههادی استفاده میکنیم؟
اگر در کارخانههای تولید نیمههادی کار میکنید، میدانید که روش خشک کردن با اشعه مادون قرمز، بهترین روش است. این روش پاکیزه است، سازگار با محیط زیست نیز هست، و انرژی لازم را مستقیماً به سمت سطح مورد نظر ارسال میکند. اما یک مشکل وجود دارد: نمیتوان لامپها را بدون سپر در اتاقهای پاکیزه قرار داد. اینجاست که سپرهای کوارتز کاربرد دارند.
موضوع اصلی، گرماست.
این سپرها صرفاً برای ظاهر نیستند؛ ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم، زیرا اجازه میدهد اشعه مادون قرمز کوتاهموج به راحتی از میان آن عبور کند. اگر از شیشه معمولی استفاده کنیم، آن شیشه تمام گرما را جذب کرده، تحت فشار قرار گرفته و در نهایت خراب میشود.
کوارتز میتواند این فشار را تحمل کند؛ وقتی لامپ روشن میشود، دما به سرعت افزایش مییابد. کوارتز این فشار را تحمل کرده و در عین حال رشتههای لامپ را در امان نگه میدارد.
حفظ پاکیزگی و عملکرد لامپ
مشکل واقعی، آلودگی است. در کارخانههای تولید نیمههادی، گازها و مواد شیمیایی در هوا وجود دارند؛ اگر حتی مقدار کمی از این مواد به لوله کوارتز لامپ برخورد کند، مشکلاتی پیش خواهد آمد. این امر منجر به ایجاد «نقاط گرم» میشود؛ یعنی نقاطی که گرما نمیتواند از آنجا خارج شود. در نتیجه، لامپ خراب میشود.
سپرها این فشار را تحمل میکنند تا لامپ مجبور نشود این فشار را تحمل کند. همچنین، ما مطمئن میشویم که این سپرها راحت قابل تعویض باشند؛ هیچ کس نمیخواهد خط تولید به دلیل کثیف شدن سپر، ساعتها متوقف بماند.
تعادل بین مزایا و معایب
هیچ چیز رایگان نیست؛ هر بار که یک لایه بین لامپ و ویفر قرار میدهیم، کمی انرژی از دست میرود. حتی با استفاده از کوارتز نیز، مقداری گرما باقی میماند.
شما میتوانید این موضوع را در محاسبات انرژی مشاهده کنید؛ اگر میخواهید چرخههای خشک کردن بسیار سریعی داشته باشید، ممکن است نیاز باشد توان لامپ را کمی افزایش دهید تا انرژی از دست رفته جبران شود.
یک نکته دیگر: مطمئن شوید که براکتهای نصب لامپ محکم هستند؛ اگر سپر شروع به لرزش کند، با گذشت زمان ترکهای ریزی در کوارتز ایجاد خواهد شد و این موضوع منجر به خرابی لامپ خواهد شد.