در کارخانههای تولید، تغییرات دما در حین فرآیند پردازش فوتورزیست، باعث ایجاد هشدارهای شدیدی نمیشود. این تغییرات به آرامی منجر به کاهش بازدهی تولید میشوند؛ یک ویفر در هر بار. در خطوط لیتوگرافی و بستهبندی، قابلیت تکرارپذیری حرارتی چیزی نیست که بتوان آن را انتخابی در نظر گرفت؛ بلکه این موضوع بخش جداییناپذیری از فرآیند تولید است.
آنچه در واقع اهمیت دارد
ما گرمکنهای مورد استفاده در کارخانههای تولید را با استفاده از الکترومغناطیسهای موج کوتاه مادون قرمز و پنجرههای کوارتزی ساختهایم. این روش باعث افزایش سریع دما و کاهش انرژی مصرفی میشود. در کل منطقه فعال، یکنواختی دما در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ حتی در حالت کار مداوم نیز این یکنواختی حفظ میگردد.
این گرمکنها با اتاقهای تمیز در کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار هستند؛ بدنههای آنها بسته هستند، مواد مورد استفاده دارای انتشار گاز کمی هستند، و سیستمهای فیلتراسیون داخلی نیز باعث جلوگیری از افزایش تعداد ذرات میشوند. الگوهای گرمایشی مورد استفاده برای پردازش فوتورزیست، چه نرم و چه سخت، قابل تکرار هستند؛ زیرا گرمکنها دما را با استفاده از سیستم کالیبراسیون بسته کنترل میکنند، نه با تخمینات اپراتور.
چرا این روش در عمل مؤثر است
شما به گرمایی نیاز دارید که مانند یک متغیر کنترلشده عمل کند، نه چیزی که بتوان آن را تخمین زد. در فرآیندهای تمیز کردن و خشک کردن ویفرها، دمای پایدار سطح ویفرها باعث کاهش رطوبت و جلوگیری از مشکلات ناشی از رطوبت میشود. در فرآیندهای لیتوگرافی نیز، دمای پایدار باعث کنترل بهتر ابعاد ویفرها و کاهش نیاز به تعمیرات میشود.
نتیجه این امر، کاهش تغییرات دما، کاهش مقدار مواد بیفایده، و زمان کاری قابل پیشبینی است. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرمایش سریع و دقیق صورت میگیرد، و انتقال حرارت نیز کارایی بالایی دارد؛ بدون اینکه بر کیفیت ویفرها تأثیر منفی بگذارد.
چه چیزهایی را باید در هنگام نصب در نظر گرفت؟
این گرمکنها با تجهیزات و سیستمهای موجود در کارخانههای تولید سازگار هستند؛ اما رابط کاری آنها باید با ماشین مورد نظر مطابقت داشته باشد: ولتاژ کنترل، نوع کانکتور، و منطق اتصال. همچنین باید از تجهیزات نصب سازگار با اتاقهای تمیز استفاده کرد، و فاصلههای موجود در اطراف پنجرههای مربوط به فرآیند نیز باید بررسی شود. عملکرد حرارتی این گرمکنها به تماس مکانیکی قوی و جریان هوای کنترلشده بستگی دارد.
با تعیین ولتاژ و ابعاد مناسب، این گرمکنها میتوانند مانند یک منبع حرارتی قابل کنترل عمل کنند؛ روز به روز.