گرمایش مادون قرمز در مقابل گرمایش با هوای داغ: چرا تغییر از روش گرمایش هوای داغ به روش گرمایش مادون قرمز برای ویفرها اهمیت دارد؟
اگر در حال فکر کردن به جایگزینی روش گرمایش هوای داغ با روش گرمایش مادون قرمز در فرآیندهای پردازش عمیق هستید، در واقع شما نه تنها یک هیتر جدید انتخاب میکنید، بلکه آن «تأخیر حرارتی» آزاردهنده را نیز از بین میبرید؛ تأخیری که باعث کند شدن فرآیندها میشود.
روش گرمایش هوای داغ
فرآیند گرمایش با هوای داغ به این صورت است: ابتدا باید هوا گرم شود، سپس منتظر ماند تا دیوارههای محفظه نیز گرم شوند؛ در نهایت، گرما به سطح ویفر میرسد. این روش بسیار آهسته است.
روش گرمایش مادون قرمز
روش گرمایش مادون قرمز متفاوت است؛ زیرا از تشعشعات الکترومغناطیسی استفاده میکند. در نتیجه، فوتونها مستقیماً به سطح ویفر برخورد میکنند. این روش بسیار سریع است؛ یعنی میتوانید در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر برسید. در صنایعی که حجم بالایی از ویفرها را پردازش میکنند، این چند دقیقه از دست رفته، نه تنها مزاحمت ایجاد میکند، بلکه بر روند پردازش تأثیر منفی دارد.
چالشهای مربوط به فاصله بین لامپ و ویفر
نکته مهم اینجاست که فاصله بین لامپ و ویفر اهمیت زیادی دارد. اگر لامپ خیلی نزدیک باشد، مناطق خاصی از ویفر داغ خواهد شد؛ یا حتی ویفر آسیب خواهد دید. اگر لامپ خیلی دور باشد، شدت گرمای تولید شده کم خواهد شد و این امر باعث کاهش کارایی روش گرمایش مادون قرمز میشود.
راهحلها
معمولاً برای تعیین فاصله مناسب بین لامپ و ویفر، از مقدار وات مورد نیاز برای هر سانتیمتر مربع استفاده میشود. اما نکته جالب اینجاست که روش گرمایش مادون قرمز امکان تنظیم دقیق فاصله بین لامپ و ویفر را فراهم میکند؛ شما میتوانید ارتفاع لامپ را تنظیم کنید یا از بازتابندهها استفاده کنید تا گرما به طور یکنواخت در سراسر ویفر پخش شود.
معایب
روش گرمایش مادون قرمز بسیار قدرتمند است؛ بنابراین نمیتوانید آن را فقط وصل کنید و برای نوشیدن قهوه بروید. به دلیل شدت بالای گرما، نیاز به سیستم کنترل دقیق و سنسورهایی دارید که بتوانند بلافاصله واکنش نشان دهند. در غیر این صورت، ممکن است دمای ویفر از حد مورد نظر خارج شود. همچنین، اگر سیستم خنککننده نتواند با کاهش سریع دما کنار بیاید، ممکن است دمای ویفر نوسان کند و این امر میتواند کل محموله ویفرها را از بین ببرد.
مزایا
با این حال، مزایای این روش بسیار زیاد است؛ شما میتوانید فضای کمتری برای سیستم گرمایشی خود استفاده کنید و زمان پردازش نیز بسیار کمتر خواهد بود. برای کسانی که میخواهند سرعت فرآیندهای پردازش عمیق خود را افزایش دهند، این روش بهترین گزینه است.