Как настроить правильную температуру в системах инфракрасного излучения в вакууме
Если вы строите современный производственный комплекс, последнее, что вам нужно, — это источник тепла, который будет действовать как «черная коробка». Нельзя просто включить устройство и надеяться на лучшее. Вам нужна система, которая будет взаимодействовать с контроллером PLC и реагировать в течение нескольких миллисекунд.
Поэтому мы используем инфракрасные нагреватели, совместимые с условиями вакуума. Поскольку они передают энергию через излучение, вам не нужно беспокоиться о воздухе или других газах, которые могут повлиять на работу вакуумной камеры. Это делает всё проще.
Как происходит передача тепла
В вакууме невозможно передавать тепло через воздух. Это просто невозможно. Чтобы обойти эту проблему, мы используем излучатели коротковолнового инфракрасного излучения. Можно считать их своего рода лампами, которые направляют излучение прямо на цель. Если вы создаете систему для нанесения пленок или обработки кристаллических пластин, вам важно контролировать плотность мощности излучения.
Лампы высокой мощности позволяют быстро достигнуть нужной температуры. Но будьте осторожны: необходимо убедиться, что вакуумные уплотнения и элементы подачи энергии выдерживают тепловое расширение, иначе может произойти утечка воздуха.
Сделать систему «умной»
Современный производственный комплекс функционирует на основе данных. Мы создаем такие системы инфракрасного излучения, чтобы они сочетались с контроллерами PID и датчиками в реальном времени. Вместо того чтобы предполагать температуру поверхности, можно использовать пирометры. Это позволяет создать замкнутую систему обратной связи, что избавляет от задержек, характерных для старых резистивных нагревателей. Кроме того, получается цифровой запись каждого цикла нагрева. Если вы производите полупроводники или OLED-дисплеи, это единственный способ гарантировать, что первая партия продукции будет идентична сто первой партии.
Реальности использования оборудования
Теперь давайте поговорим о компромиссах. Инфракрасные лампы высокой интенсивности выделяют огромное количество тепла. Это хорошо для скорости работы, но это серьезная нагрузка на системы охлаждения. Если система охлаждения недостаточно мощная, лампы сгорят слишком быстро. Необходимо найти баланс между скоростью нагрева и сроком службы кварцевых колб. Совет: используйте отражатели с золотым покрытием. Они направляют больше энергии на подложку, предотвращая перегрев стенок камеры.