Почему мы отказываемся от традиционных печей в пользу инфракрасного обеззараживания
Давайте будем честны: эти старомодные конвекционные печи уже давно устарели в мире полупроводников. Они громоздкие, работают медленно, и управлять ими довольно сложно. Поэтому многие производства переходят на использование инфракрасного обеззараживания. Речь идет не только о соблюдении принципов экологичности или отказе от свинца – речь идет о том, чтобы сделать процесс более эффективным.
Принцип работы инфракрасных печей заключается в следующем: в конвекционной печи необходимо нагреть целую комнату, заполненную воздухом, лишь бы передать энергию на крошечный кристалл. Это неэффективно. У инфракрасных печей все иначе – энергия передается напрямую от источника к поверхности кристалла. Нет никаких посредников, нет необходимости ждать, пока нагреется воздух. Благодаря этому можно избавиться от использования опасных органических растворителей или добавок на основе свинца для ускорения процесса. К тому же снижается потребление энергии – на 30–50%.
Если вы когда-либо находились в чистом зале, вы знаете, какая это проблема – постоянное наличие частиц пыли. Высокоскоростные вентиляторы создают еще больше пыли. Инфракрасные нагреватели же работают без движения воздуха, без образования частиц пыли и без выбросов газов. Это просто более чистый и тихий способ обработки.
Но это не волшебство. Есть несколько факторов, которые необходимо учитывать. Инфракрасные печи работают очень быстро. Но эта скорость может стать проблемой, если кристалл расположен неправильно или интенсивность нагрева слишком высока. Тогда возникают „горячие точки“, что может привести к повреждению кристалла. Необходимо тщательно подбирать параметры контроля и датчики расстояния, иначе материалы будут разрушены.
Но самое лучшее – это сокращение экологического следа. Когда исчезает длительное время нагрева, сокращается и использование углерода. Нет выбросов парниковых газов, нет значительного энергопотребления. Это просто более простой способ работы.