Waarom goudcoateerde reflectoren echt belangrijk zijn voor uw wafers
Als u ooit tijd hebt doorgebracht in een halfgeleiderreinigingsruimte, weet u hoe lastig het kan zijn. U stuurt enorme hoeveelheden energie naar de infrarode lampen, maar een groot deel van die energie verdwijnt gewoon… Het wordt teruggekaatst in de verkeerde richting, raakt de muren of lekt opzij, terwijl uw wafer nog steeds op de nodige warmte wacht.
Het is energieverlies en het veroorzaakt problemen voor uw productiecapaciteit. Hier komt het goud om de hoek kijken.
Het geheim zit in de weerkaatsing.
U kunt natuurlijk ook aluminium gebruiken; dat is goedkoper. Maar aluminium werkt niet goed bij de specifieke temperaturen die nodig zijn voor de verwerking van wafers. Goud daarentegen is zeer effectief bij het weerspiegelen van langgolvige en middellanggolvige infraroodstraling.
Door een dunne laag goud van hoge zuiverheid op de reflector te plaatsen, zorgen we er in feite voor dat de fotonen rechtstreeks naar het silicium worden gestuurd. U hoeft zich geen zorgen meer te maken over de vraag of de warmte wel bereikt – dat gebeurt gewoon.
De nadelen (want die zijn er altijd)
Het nadeel is dat wanneer u de energie zo intensief richt, de situatie gevaarlijk kan worden. U krijgt een veel hogere warmtedichtheid zonder dat u de sterkte van de lampen hoeft te verhogen – dat is fijn. Maar dat betekent ook dat uw marges voor fouten kleiner worden. Als de positie van de lampen zelfs maar een paar millimeter niet klopt, ontstaan er ‘hot spots’.
Omdat de energieoverdracht veel nauwkeuriger is dan bij traditioneel gepolijst staal, moet u ervoor zorgen dat uw PID-regelers goed ingesteld zijn. Ze moeten snel genoeg reageren om temperatureverschillen te voorkomen.
Zorgen dat alles goed blijft functioneren
We hebben deze reflectoren zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. U hoeft niet het hele systeem uit elkaar te halen om ze te vernieuwen – dit zorgt voor minimale stilstandstijden.
Maar er is één belangrijk punt om rekening mee te houden: goud is erg gevoelig voor chemische contaminatie. Als uw proces corrosieve gassen gebruikt, moet u de reflectoren goed beschermen. Anders zal het goud beschadigen of oxideren, waardoor de reflectie verminderd wordt. Hetzelfde geldt voor oververhitting: als de laag goud beschadigt raakt, gaat de thermische uniformiteit verloren. En dan begint u vaak met het afwijzen van batchen.
Houd ze schoon en goed gealigneerd. De fysica doet de rest.