Mengatasi Masalah Kegagalan Lampu Dalam Proses Pemprosesan Wafer Berbeban Tinggi
Ketika menggunakan lampu inframerah dalam proses pengeluaran semikonduktor, keadaan boleh menjadi kacau. Jika tiub kuarza pecah akibat tekanan yang tinggi, bukan sahaja lampu tersebut akan rosak, tetapi serpihan kaca dan filamen tungsten juga akan jatuh terus ke atas wafer tersebut. Ini merupakan situasi yang sangat buruk. Satu kegagalan sahaja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan batch wafer yang diproses, dan hasil pengeluaran untuk hari itu akan musnah.
Penyelesaian yang Mudah: Penggunaan Sarung Keselamatan
Kami telah mencari cara untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku. Daripada membiarkan tiub inframerah berada di luar, kami memasukkannya ke dalam sarung keluli tahan karat khas. Ia berfungsi seperti “ sangkar keselamatan”. Jika lampu tersebut meletup atau rosak akibat haba yang berlebihan, serpihan tersebut akan terperangkap di dalam sarung keluli tersebut. Wafer pula akan tetap bersih. Sangat mudah, bukan?
Butiran Mengenai Bahan yang Digunakan
Tergantung pada keperluan bilik bersih tersebut, kami menggunakan keluli tahan karat jenis 304 atau 316L. Kami memilih bahan-bahan ini kerana ia mampu menahan haba tanpa bengkok, sekaligus memastikan lampu tetap berada di posisi yang sepatutnya. Kami juga memastikan adanya jurang udara yang cukup agar logam dapat mengembang apabila panas, tetapi tidak terlalu banyak sehingga serpihan dapat keluar dari sarung tersebut. Memandangkan masa henti merupakan masalah utama, reka bentuk ini membolehkan penggantian lampu dilakukan dengan cepat. Anda hanya perlu mengeluarkan lampu yang rosak dan menggantikannya dengan yang baru. Tidak perlu membongkar seluruh sistem pemanasan hanya untuk membaiki satu lampu sahaja.
Kompromi yang Perlu Diterima
Namun, penambahan lapisan keluli ini bermakna sedikit daripada sinar inframerah akan hilang. Logam tersebut akan menyerap sebahagian daripada tenaga tersebut, jadi anda tidak akan mendapat 100% haba yang diperlukan. Untuk mengatasi masalah ini, anda mungkin perlu meningkatkan kuasa lampu atau membiarkan wafer dipanaskan lebih lama. Adakah ia kurang efisien? Ya. Namun, apabila anda beroperasi pada skala yang besar, sedikit peningkatan waktu pemanasan merupakan harga yang kecil untuk dibayar. Ia jauh lebih murah daripada kehilangan keseluruhan batch wafer akibat serpihan kaca.