에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

스마트 팩토리를 위한 적절한 열 관리 방법 산업 4.0 환경으로 전환하려 한다면, 자동화만으로는 충분하지 않다는 것을 아실 것입니다. 진짜 문제는 바로 열에너지입니다. 웨이퍼를 가열할 때는 고밀도 적외선 시스템을 사용합니다. 왜냐하면 이러한 시스템은 주변의 공기 상태...