히터가 생산 효율을 망치는 것을 막으세요.
고부하의 반도체 생산을 하고 있다면, 이러한 악몽 같은 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 즉, 적외선 램프가 파손되는 것입니다.
그건 재앙입니다. 석영관이 파열되면, 유리 조각과 금속 찌꺼기들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 그 결과 생산 효율은 급격히 떨어지거나 아예 멈추게 됩니다.
바로 이런 이유로 우리는 히터를 특별한 방식으로 설계하는 것입니다. 단순히 열을 내는 것뿐만 아니라, 히터가 파손되지 않도록 하는 것이 목표입니다.
전선 문제
일반적인 전선은 취약점이 있습니다. 계속해서 가열되고 냉각되는 과정에서 연결 부위가 손상됩니다.
우리는 고급 테플론(PTFE) 코팅된 전선을 사용합니다. 왜냐하면 테플론은 열에도 견딜 수 있기 때문입니다. 녹아서 하우징에 달라붙거나 이상한 기체를 방출하지도 않습니다. 만약 절연체가 타버리면 단락이 발생하고, 녹으면 실리콘에 오염이 생깁니다. 둘 다 원하지 않는 상황입니다.
오랫동안 사용할 수 있는 구조
대부분의 석영관은 기계적 스트레스나 불균등한 팽창으로 인해 파손됩니다. 간단히 말해, 가열될 때 압력을 받아 파열되는 것입니다.
우리는 버퍼링 시스템을 활용하여 이 문제를 해결했습니다. 이를 통해 석영관이 작동 온도에 도달했을 때 압력을 받지 않도록 합니다. 또한 고순도 석영을 사용하여 급격한 온도 변화에도 균열이 생기지 않도록 합니다.
고부하 환경의 현실
솔직히 말해서, 더 빠른 작동 속도를 얻으려고 전력을 높이면 석영관에 더 큰 부담이 가해집니다.
우리의 안전 설계는 큰 도움이 되지만, 램프를 극한까지 사용하면 전극이 더 빨리 마모됩니다. 이는 균형을 맞춰야 하는 문제입니다. 높은 생산성을 원하지만, 동시에 램프가 오랫동안 사용될 수 있도록 해야 합니다.
가장 좋은 방법은 정기적으로 램프를 교체하는 것입니다. 예상치 못한 고장으로 인한 생산 중단보다는 스스로 램프를 교체하는 것이 훨씬 비용 효율적입니다.
전선을 잘 관리하고, 냉각 공기 흐름을 안정적으로 유지한다면, 오염 문제를 사전에 방지할 수 있습니다.