ステンレス鋼製ヒーターハウジング製造

高負荷なウェーハ処理におけるランプの故障対策 半導体製造において、赤外線ランプを限界まで使うと、問題が発生することがあります。もし石英管が圧力に耐えきれず破裂してしまったら、単にランプが壊れて工程が停止するだけでは済みません。ガラスの破片やタングステンフィラメントが直接ウェーハに降り注ぐことになり...