工場乾燥設備のエネルギー診断

ファブ内でのエネルギー漏れを防ぐ方法 もし半導体製造ラインにおいてエネルギー消費量の診断を行ったことがあるなら、どこでエネルギーが無駄になっているかはすぐにわかるでしょう。通常、それは乾燥工程です。ほとんどのファブでは、チャンバー内の空気をすべて加熱することでウェーハ上の水分を除去しようとしていま...