
جلوی خراب شدن تجهیزات گرمایشی را بگیرید!
اگر در فرآیند تولید نیمههادیها با بار بالا کار میکنید، حتماً از این سناریوی وحشتناک آگاه هستید: شکستن لامپهای مادون قرمز.
این یک فاجعه است؛ یکی از لولههای کوارتزی شکسته میشود و ناگهان تکههای شیشهای و ذرات فلزی روی ویفرها میافتند. در نتیجه، بازده تولید کاهش پیدا میکند… یا حتی متوقف میشود.
دقیقاً به همین دلیل است که ما تجهیزات گرمایشی خود را به این شکل طراحی میکنیم؛ ما فقط به دنبال گرم کردن آنها نیستیم، بلکه میخواهیم از شکستن آنها جلوگیری کنیم.
مشکلات مربوط به سیمکشی
سیمکشی استاندارد، نقطه ضعفی است؛ معمولاً در نقاط اتصال خراب میشود، زیرا گرما و سرما مداوم، سیمها را تخریب میکنند.
ما از سیمهای پوشیده شده با تفلون (PTFE) استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون تفلون تحت تأثیر گرما دچار مشکل نمیشود؛ همچنین، در صورت سوختن عایقها، احتمال بروز مشکلات الکتریکی وجود ندارد.
ساخت تجهیزاتی که واقعاً مقاوم باشند
اکثر لولههای کوارتزی به دلیل فشار مکانیکی یا انبساط ناهموار، شکسته میشوند. در واقع، هنگام گرم شدن، لولهها تحت فشار قرار میگیرند و شکسته میشوند.
ما این مشکل را با استفاده از سیستمهای نگهدارنده مناسب حل کردهایم؛ این سیستمها به لولهها فضای کافی برای تنفس میدهند، تا در دمای کاری تحت فشار قرار نگیرند. همچنین، ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کوارتز میتواند در برابر چرخههای گرمایشی سریع مقاومت کند و از شکستن آن جلوگیری کند.
واقعیت فرآیندهای تولید با بار بالا
حقیقت این است که اگر برای کاهش زمان تولید، توان لامپها را افزایش دهید، فشار بیشتری بر کوارتز وارد میشود.
طراحیهای ایمنی ما کمک زیادی میکنند، اما استفاده بیش از حد از لامپها، باعث فرسوده شدن الکترودهای آنها میشود. این یک تعادل دشوار است؛ شما هم میخواهید بازده تولید بالا باشد، و هم میخواهید لامپها واقعاً مقاوم باشند.
بهترین راه؟ رعایت برنامه زمانبندی منظم برای تعویض لامپها است؛ این کار، ارزانتر از مواجهه با توقفهای غیرمنتظره است.
سیمکشی را درست انجام دهید، جریان هوای خنککننده را ثابت نگه دارید، و در این صورت میتوانید از آلودگیهای احتمالی جلوگیری کنید.