جلوگیری از ایجاد تکههای شیشهای: حفظ تمیزی وافرها در صورت خرابی لامپها
در خطوط تولید نیمههادی با ظرفیت بالا، خرابی لامپهای مادون قرمز واقعاً یک فاجعه است. مشکل فقط مربوط به توقف کارخط نیست؛ بلکه پاکسازی محیط نیز مهم است. وقتی لوله کوارتز خراب میشود، نه تنها دیگر کار نمیکند، بلکه تکههای شیشهای و ذرات مختلفی روی وافرها ریخته میشود. این وضعیت واقعاً آشفتهکننده است.
به همین دلیل، ما گرمکنهایی در اتاقهای تمیز ساختهایم تا از وقوع چنین فجایعی جلوگیری کنند.
سیستم ایمنی
ما فقط به استحکام کوارتز اعتماد نمیکنیم؛ بلکه یک سپر دفاعی نیز اضافه کردهایم که نقش یک سیستم ایمنی را ایفا میکند. اگر لوله کوارتز خراب شود، این سپر تکههای شیشهای را جذب میکند.
برای اینکه لامپها بتوانند مدت زمان بیشتری کار کنند، از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم. این کوارتز میتواند تغییرات ناگهانی دما را تحمل کند؛ بنابراین مشکلات کمتری در حین کار رخ میدهد.
مقابله با گرما
وقتی لامپهای پرتوان را در فضای کوچکی قرار میدهیم، دما به سرعت بالا میرود. اگر سیستم خنککننده کافی نباشد، انتهای لامپها دچار گرمای بیش از حد میشود. در چنین شرایطی، مهرهای موجود در لامپها از کار میافتند و گازها نیز نشت میکنند.
برای جلوگیری از این مشکل، از اتصالات تقویتشده و مهرهای ویژه استفاده میکنیم. این اتصالات حتی در شرایط استرس حرارتی نیز، واکوئوم را حفظ میکنند.
تعویض سریع لامپها، کاهش گرد و غبار
تعویض لامپ نباید یک کار پیچیده باشد. ما از اتصالات استاندارد برای ساده کردن این کار استفاده کردهایم. کافی است لامپ جدید را جایگزین کنید و دوباره کار را ادامه دهید.
هرچه تعویض لامپ سریعتر انجام شود، زمانی که فر بسته است کمتر خواهد بود. و هرچه زمان بسته بودن فر کمتر باشد، ذرات کمتری وارد فر میشوند و محصولات شما خراب نمیشوند.
یک توصیه
نکته مهم این است که اگر لامپها را تا حداکثر توان خود کار کنید، آنها سریعتر خراب خواهند شد. این یک تعادل بین سرعت افزایش دما و فراوانی تعویض لامپهاست. اگر لامپها را برای مدت طولانی در دمای بالا کار کنید، مجبور خواهید بود هر چند هفته یکبار لامپها را تعویض کنید. حتماً تنظیمات PID را به درستی انجام دهید تا دما از حد مورد نظر فراتر نرود. این کار به سختافزار شما و همچنین سلامت روانی شما کمک خواهد کرد.