Як отримати точні термальні дані на заводі
Якщо ви намагаєтесь створити „розумний завод“, ви, напевно, усвідомлюєте, що лише сучасне програмне забезпечення недостатньо. Не можна просто купити панель керування та все. Потрібне обладнання, яке дійсно може працювати з вашими даними.
Що стосується нагріву напівпровідників, то справжньою проблемою зазвичай є не сам нагрівач, а механізм зворотного зв’язку. Саме тому ми використовуємо високоефективні інфрачервоні системи – вони реагують достатньо швидко, щоб супроводжувати процес виробництва.
Проблеми з термальним зворотним зв’язком
Підтримання однорідності температури на поверхні пластини є складним завданням. Для цього ми використовуємо спеціальні термопари разом з інфрачервоними нагрівачами.
Але ось проблема: загальний показник температури недостатній. Нам потрібна мінімальна затримка передачі даних. Якщо датчик працює повільно, механізм PID дає збої. У результаті на кремнієвій поверхні виникає термічний стрес, що призводить до втрати матеріалу. Ми розробляємо датчики, які можуть ефективно працювати в умовах високих температур, без збоїв чи втоми.
Як зробити дані корисними
Метою є створення цифрового „дзеркала“ процесу нагріву. Ми підключаємо ці термопари до системи, що працює на основі даних, щоб можна було бачити термальні профілі в реальному часі.
Більше не потрібно дивитися на аналогові прилади. Усе стає цифровим сигналом, який потрапляє прямо до PLC. Це дає чітку картину того, як тепло поширюється по поверхні пластини.
Компроміси та перешкоди
Високошвидкісна передача даних має свої недоліки. Чим чутливіша термопара, тим більше вона чутлива до електричних перешкод від джерел живлення. Це проблема. Якщо не використовувати захищені кабелі та правильно налаштувати систему заземлення, електромагнітні перешкоди будуть порушувати передачу сигналу.
І що ж? Ваші „розумні“ дані стають просто випадковими шумами.
Ми розробили ці системи так, щоб вони могли замінити існуюче обладнання. Вам не потрібно замінювати весь нагрівальний комплекс лише для того, щоб отримати цифрові дані. Йдеться лише про те, щоб отримати чисті та надійні дані з гарячої зони до сервера. Просто так.