На поверхні літографічного обладнання все відбувається досить просто. Навіть незначна зміна температури під час процесу нагріву може призвести до зміни критичних розмірів на рівні нанометрів. Лінія, яка мала б залишатися на одному рівні, раптово починає віддалятися. Ми створили лампу з регульованим рівнем освітлення, щоб підтримувати температуру в потрібних межах – точно, стабільно та під контролем.
Що є важливим у цьому процесі
Лампа використовує випромінювач короткохвильового інфрачервоного світла, який швидко нагріває пластину. Це дозволяє підтримувати однорідність температури на всій поверхні пластини при значенні ±0,1°C. Регулювання яскравості відбувається прямо та лінійно, тож можна встановлювати потрібну температуру фоторезисту, не перевищуючи при цьому температуру самої пластини. Конструкція лампи підходить для використання у чистих приміщеннях класу 1–100; у гарячій зоні не утворюється жодних частинок, а інтерфейс з кварцом/керамікою є герметичним, що дозволяє проводити процедури очищення без будь-яких проблем. На практиці процес нагріву відбувається за кілька секунд, а температурний діапазон залишається достатньо широким для обробки складних елементів.
У процесі обробки фоторезисту єдиним важливим показником є його повторюваність. Лампа з регульованим рівнем освітлення дозволяє підтримувати стабільну температуру під час кожної процедури, що зменшує варіації розмірів елементів. Температура швидко досягає потрібного рівня, що скорочує час обробки без впливу на якість продукту. Крім того, низький профіль лампи дозволяє її використання в існуючих системах обробки, з мінімальною кількістю коригувань. Також спостерігається менше витрат енергії, оскільки лампа використовує лише необхідну кількість енергії. Довгий термін служби випромінювача також дозволяє збільшити термін експлуатації обладнання. На лініях упаковки цей контроль забезпечує стабільну процедуру затвердіння епоксидної смоли та зменшує кількість порожнин у продукті – адже температурний профіль більше не є проблемою.
Кілька практичних порад перед початком роботи: необхідно переконатися, що інтерфейс роз’ємів відповідає вимогам, а також перевірити параметри напруги живлення. Лампа чутлива до шумів напруги, які можуть призводити до коливань температури. Перед початком роботи необхідно провести кілька процедур нагріву, щоб стабілізувати роботу випромінювача. Також необхідно перевірити правильність розташування відбивача, щоб зберегти однорідність температури. Потрібно також враховувати особливості матеріалів, з яких виготовлена пластина – товсті пластини та плівки з низькою проникністю реагують по-різному, тому спочатку необхідно провести калібрування за допомогою спеціальних пластин.