На виробничій лінії навіть півградусна зміна температури під час сушіння може призвести до зміни критичних розмірів на рівні нанометрів – що означає втрату годин роботи з літографією. Інфрачервоні лампи для обробки графену допомагають вирішити цю проблему. Вони замінюють традиційні нагрівачі швидким та стабільним випромінюванням, яке дозволяє підтримувати температуру в заданих межах.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили емітер НІР на основі графену для забезпечення швидкості та точності роботи. Він швидко та передбачувано реагує на зміни умов. Таким чином досягається однорідність температури на всій поверхні пластини – при похибці не більше ±0,1°C. Система може працювати в чистих кімнатах класу 1–100 без утворення частинок чи викидів газів, що зменшує кількість дефектів. Рівень вихідної потужності залишається стабільним протягом понад 5 000 годин, при похибці менше 5%. Таким чином кожна пластина отримує однакову щільність енергії, незалежно від серії. Після відкриття/закриття дверей лампи швидко повертаються до стабільного стану, тож параметри процесу залишаються незмінними.
Чому це підходить для процесу
Під час обробки фотополімеру етап сушіння впливає на ступінь напруги у матеріалі, його чутливість та форму країв. За допомогою цих ламп можна краще контролювати процес сушіння, що дозволяє скоротити кількість необхідних корекцій та покращити однорідність параметрів по всій партії продукції. Швидке нагрівання скорочує час виконання процесу, не впливаючи на точність температурного контролю. Крім того, ефективність ламп знижує витрати на обробку однієї пластини. Це замінник, що відповідає міжнародним стандартам, тож його можна використовувати без необхідності переоснащення всієї лінії – таким чином можна зберегти всі параметри процесу та підвищити кількість готової продукції.
Що потрібно враховувати
Вихідна потужність лампи залежить від чистоти кварцового вікна та рівності його монтажу. Щоб досягти похибки ±0,1°C, необхідно дотримуватися вказаних параметрів крутного моменту та процедур очищення. Емітер потребує спеціального джерела живлення з низьким рівнем імпульсів та каліброваного пірометра для контролю в режимі замкненого контуру. Після налаштування система може працювати 24/7 з передбачуваними інтервалами технічного обслуговування, що значно зменшує час простою.