
Правильне регулювання температури під час висушування пластин у заводах з виробництва напівпровідників
Справжньою проблемою на таких заводах є необхідність нагрівання пластини за допомогою тепла, причому це потрібно робити швидко. Але не можна просто посилити силу нагрівання та сподіватися на краще – адже якщо корпус навколо пластини перегріється, виникнуть проблеми.
Ми вирішуємо цю проблему шляхом використання сертифікованих ІЧ-ламп для нагрівання разом із відбивачами, покритими золотом. Мета полягає у тому, щоб уникнути марної витрати енергії.
Чому саме золото?
Більшість людей починають з використання алюмінієвих відбивачів, але вони не підходять для цього. Вони поглинають занадто багато енергії та розсіюють світло всюди. Золото ж є ідеальним варіантом – воно чудово відбиває ближнє інфрачервоне світло.
Використовуючи тонкий шар золота, ми фактично „просимо“ фотони не потрапляти на корпус обладнання, а повертатися до пластини. Це дозволяє скоротити час нагрівання та зробити процес ефективнішим.
Увага до щільності тепла
Однак є одна проблема: коли використовується золото для концентрації енергії, щільність тепла на поверхні значно зростає. Поверхня стає дуже гарячою.
Тут потрібно бути обережним щодо системи охолодження. Якщо потік повітря чи елементи охолодження не є достатніми, можуть виникнути проблеми з пластинами чи самими лампами. Ми завжди приділяємо багато уваги балансуванню потужності та форми відбивачів, щоб досягти оптимальних значень для щільності тепла.
Особливості використання цих ламп
Ці лампи призначені для використання в чистих приміщеннях, тож їх дизайн є мінімалістичним. Вони легко вписуються в обмежений простір заводу без необхідності приділяти багато уваги простору.
Ще одна важлива порада: золото є чутливим до запилення. Якщо на відбивачах з’явиться шар пилу, ефективність лампи знизиться. Тоді доведеться збільшувати потужність, щоб досягти того ж ефекту, що прискорює зношування лампи. Тож необхідно підтримувати відбивачі в бездоганній чистоті.
Ще одна порада щодо підключення ламп: переконайтеся, що ваш джерело живлення може витримати початковий пік напруги. Перевагою системи з золотим покриттям є те, що можна зменшити загальну потужність живлення, при цьому все одно підтримувати пластину при необхідній температурі.