Fabrikadaki termal verileri doğru şekilde elde etmek
Eğer “akıllı bir fabrika” kurmaya çalışıyorsanız, muhtemelen sadece sofistike yazılımların yeterli olmadığını fark etmişsinizdir. Sadece bir kontrol paneli alıp işin bittiğini düşünemezsiniz. Verilerle etkileşime geçebilecek donanımlara ihtiyacınız vardır.
Yarı iletkenlerin ısıtılması söz konusu olduğunda, asıl sorun genellikle ısıtıcıların kendisi değildir; sorun geri bildirim döngüsüdür. İşte bu yüzden yüksek verimliliğe sahip kızılötesi sistemler kullanıyoruz – çünkü bunlar dijitalleştirilmiş üretim süreçlerine yetişebilecek kadar hızlı tepki verebilirler.
Termal geri bildirimle ilgili zorluklar
Wafer’in eşit şekilde ısınmasını sağlamak oldukça zordur. Bu işi yapabilmek için kızılötesi ısıtıcılarla birlikte özel termokupller kullanılır.
Ancak temel sıcaklık ölçümleri yeterli değildir. Milisaniye düzeyinde hız gereklidir. Eğer sensör yavaş çalışırsa, PID döngüsü aşırı tepki verecektir. Böylece silisyum üzerinde termal stres oluşur ve sonuç olarak malzeme israf edilmiş olur. Sensörlerimizi, kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınların yoğun ısısına karşı dayanıklı olacak şekilde tasarlıyoruz.
Verileri gerçekten işe yarar hale getirmek
Amacımız, ısıtma sürecinin dijital bir görüntüsünü elde etmektir. Bu termokuplleri veri tabanlı bir sisteme bağlayarak, ısı dağılımını anlık olarak görebilirsiniz. Artık analog ölçüm cihazlarına bakmak zorunda değilsiniz. Her şey dijital sinyallere dönüşüyor ve doğrudan PLC’ye aktarılıyor. Böylece substrat üzerindeki ısı dağılımını net bir şekilde görebilirsiniz.
Tercihler ve riskler
Yüksek hızlı verilerin de bazı dezavantajları vardır. Termokuplunuz ne kadar hassassa, kızılötesi güç kaynaklarından gelen elektriksel gürültülere o kadar duyarlı olur. Bu durum oldukça can sıkıcıdır. Eğer korumalı kablo kullanmazsanız ve topraklamayı doğru yapmazsanız, EMI sinyallerinizin içine sızar. Ve tahmin edin ne olur? “Akıllı” verileriniz artık anlamsız gürültüler haline gelir.
Bu sistemleri, mevcut ısıtıcı sistemlerinin yerine kullanılabilecek şekilde tasarladık. Dijital verilere ulaşabilmek için tüm ısıtıcı sistemlerini yenilemenize gerek yok. Asıl mesele, sıcak bölgeden sunucuya temiz ve güvenilir verilerin ulaştırılmasıdır. O kadar basit.