บนพื้นโรงงาน โปรไฟล์หลอดไฟที่ลอยตัวไม่ก่อให้เกิดสัญญาณเตือน มันแสดงออกมาเป็นจุดร้อน 0.3°C ทั่วทั้งเวเฟอร์ การเปลี่ยนแปลงมิติที่ช้าในขนาดสำคัญ และโฟโตรีซิสต์ที่อบไม่สม่ำเสมอ เมื่อเครื่อง Mattson RTP มีอายุ การกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอจะเป็นสิ่งแรกที่เสื่อมสภาพ หลอดไฟทดแทนที่เราใช้ถูกออกแบบมาเพื่อดึงการลอยตัวนั้นกลับมาและวางการควบคุมกระบวนการให้อยู่ในตำแหน่งที่ควรจะเป็น
หัวใจทางเทคนิคคือความแม่นยำของการให้ความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรด เราจับคู่เรขาคณิตของห้อง Mattson กับแหล่งรังสีอินฟราเรดคลื่นสั้น โดยให้ความสม่ำเสมอระดับซับมิลลิเมตรทั่วระนาบเวเฟอร์และโปรไฟล์อุณหภูมิที่ทำซ้ำได้ในการรันแต่ละครั้ง ชุดหลอดไฟได้รับการสอบเทียบให้รักษาความคลาดเคลื่อน ±0.1°C ทั่วโซนทำงาน ดังนั้นขั้นตอน soft bake และ hard bake ของคุณจึงรักษางบประมาณความร้อนที่ลิโธกราฟีต้องการ
คุณจะได้รับความเสถียรของผลลัพธ์มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดความเข้มแสงน้อยกว่า 5% และไม่มีการสร้างอนุภาคในระหว่างการรันและการแช่ ห้องสะอาดที่รองรับ Class 1–100 ได้ถูกรวมไว้ในดีไซน์ด้วยส่วนประกอบควอตซ์ที่ปิดผนึกและอินเทอร์เฟซการจัดการที่สะอาดเพื่อป้องกันการปนเปื้อนเข้าสู่กระบวนการ
เหตุผลที่สำคัญบนสายการผลิตคือ มีล็อตผ่านการรับรองน้อยลง ขอบเขตเวลาที่เข้มงวดขึ้น และการใช้พลังงานต่ำลงเนื่องจากการตอบสนองของหลอดไฟที่มีประสิทธิภาพและการตั้งค่าเร็ว โปรไฟล์โฟโตรีซิสต์คงที่ ซึ่งลดงานแก้ไขและรักษาอัตราผลผลิต หลอดทดแทนติดตั้งได้กับแพลตฟอร์ม Mattson โดยใช้ตัวเชื่อมต่อและความคลาดเคลื่อนในการติดตั้งที่เหมาะสม ทำให้การติดตั้งทำได้ง่ายและเวลาหยุดงานสั้นลง
มีข้อควรระวังสองสามข้อ หลายอายุหลอดลดลงเมื่อมีการเปิด-ปิดไฟบ่อยครั้งและหากอุณหภูมิน้ำหล่อเย็นไม่คงที่ วางแผนการเปลี่ยนหลอดไฟตามช่วงเวลาการบำรุงรักษาที่กำหนด ตรวจสอบสภาพของตัวสะท้อนในห้อง และยืนยันการสอบเทียบแหล่งจ่ายไฟหลังติดตั้งเพื่อรักษาความสม่ำเสมอให้อยู่ในสเปค