Правильное регулирование температуры в процессе обработки пластин в фабриках по производству полупроводников
Здесь и кроется настоящая проблема: необходимо нагревать пластину до определенной температуры, причем делать это нужно быстро. Но нельзя просто увеличить мощность нагревателя и надеяться на лучшее – ведь если корпус вокруг пластины будет слишком горячим, это приведет к серьезным проблемам.
Мы решаем эту проблему с помощью сертифицированных инфракрасных ламп и отражателей, покрытых золотом. Цель состоит в том, чтобы избежать лишней траты энергии.
Почему именно золото?
Большинство людей начинают с использования алюминиевых отражателей, но они не подходят для этой цели. Они поглощают слишком много энергии и рассеивают свет во все стороны. Золото же отличается способностью отражать ближнее инфракрасное излучение.
Используя тонкий слой золота, мы фактически указываем фотонам: «Не падайте на корпус оборудования – возвращайтесь на пластину». Это позволяет снизить температуру на поверхности пластины и ускорить процесс нагрева. Это эффективно и при этом безопасно.
Следите за плотностью тепла
Есть один недостаток: когда используется золото для концентрации энергии, плотность тепла на поверхности резко возрастает. Поверхность становится очень горячей.
Здесь необходимо быть очень осторожным с системой охлаждения. Если поток воздуха или радиаторы не справляются со своей задачей, это может привести к деформации пластины или повреждению ламп. Обычно мы тратим много времени на настройку мощности и формы отражателей, чтобы достичь оптимальных значений температуры.
Уход за оборудованием
Эти лампы предназначены для использования в чистых помещениях, поэтому их дизайн максимально прост. Они легко помещаются в ограниченном пространстве фабрики.
Нужно помнить: золото чувствительно к загрязнениям. Если на отражателях появляется пыль, эффективность ламп снижается. Тогда приходится увеличивать мощность, чтобы достичь того же результата, что ускоряет износ ламп. Следите за тем, чтобы отражатели всегда были чистыми.
Еще один совет: убедитесь, что источник питания способен справиться с первоначальным напором тока. Преимущество использования золотых отражателей заключается в том, что можно снизить общую мощность питания, при этом сохраняя необходимую температуру пластины.