Прекратим тратить энергию впустую: почему золотые отражатели полезны для производства полупроводников
Если мы действительно хотим достичь углеродной нейтральности на заводах по производству полупроводников, нам необходимо прекратить потери энергии. Большая часть энергии, расходуемой на нагрев, тратится впустую – она идет на нагрев воздуха вокруг пластины, а не самой пластины.
Поэтому мы перешли на использование ламп с коротковолновым инфракрасным излучением в сочетании с золотыми отражателями. Вместо нагрева всего помещения тепло направляется именно туда, где это необходимо. Это простое решение, но оно значительно снижает общие расходы на энергию в чистых комнатах.
Преимущества золота
Вы можете встретить множество алюминиевых отражателей. Они действительно дешевы. Но при высоких температурах они теряют свои свойства и перестают эффективно отражать свет. Золото же справляется с инфракрасным излучением гораздо лучше. Оно направляет тепло к кремнию, не позволяя ему распространяться по корпусу оборудования. Таким образом получается концентрированный пучок тепла. Благодаря этому можно снизить мощность ламп, при этом все равно сохраняя нужную температуру.
Реальные преимущества
Честно говоря, золото не является дешевым материалом. Его начальная стоимость выше, чем у алюминия. Но вы можете вернуть эти затраты, сократив расходы на электроэнергию. К тому же оборудование не требует такого интенсивного охлаждения, поскольку не работает как огромный обогреватель.
Как это работает на практике
Создание «зеленого завода» – это не так просто, как просто заменить лампы. Необходимо правильно настроить электропроводку. Мы используем точные контроллеры PID, чтобы температура не выходила за пределы допустимых значений. Если просто увеличить мощность ламп, не настраивая систему, филаменты будут сгорать слишком быстро.
Когда все настроено правильно, все происходит быстрее: пластины нагреваются быстрее, циклы выполняются быстрее. И поскольку оборудование не работает в режиме бездействия, ваш углеродный след снижается. Это действительно эффективное решение.