Como controlar a temperatura correta na cura de wafers
A verdadeira dificuldade nas fábricas de semicondutores é que é preciso aplicar calor aos wafers, e isso precisa ser feito rapidamente. Mas não se pode simplesmente aumentar a intensidade do calor esperando pelo melhor resultado. Se o chassi ao redor do wafer for superaquecido, haverá problemas.
Para resolver isso, utilizamos lâmpadas de cura a infravermelho certificadas, em conjunto com refletores revestidos de ouro. O objetivo é evitar o desperdício de energia.
Por que ouro?
A maioria das pessoas começa usando refletores de alumínio, mas eles não são eficazes. Eles absorvem muita energia e dispersam a luz para todos os lados. O ouro é diferente: ele é excelente em refletir a luz infravermelha.
Ao usar um filme fino de ouro, estamos, basicamente, dizendo aos fótons: “Não atinjam a estrutura da máquina – voltem para o wafer”. Isso permite diminuir a área de aquecimento e acelerar o processo de cura. É eficiente e limpo.
Atenção à densidade de calor
Há um problema: ao usar ouro para concentrar toda essa energia, a densidade de calor na superfície aumenta muito. Isso faz com que a área fique extremamente quente.
É preciso ter cuidado com o sistema de resfriamento. Se o fluxo de ar ou os dissipadores de calor não forem suficientes, os substratos podem danificar-se ou as lâmpadas podem queimar. Geralmente, levamos bastante tempo para ajustar a potência e a forma dos refletores, de modo a alcançar o ponto ideal de calor por centímetro quadrado.
Como lidar com essas lâmpadas
Essas lâmpadas são projetadas para serem usadas em ambientes limpos, então seu design é leve. Elas se encaixam perfeitamente nos espaços limitados das fábricas.
Lembre-se: o ouro é sensível. Se uma camada de poeira se acumular nos refletores, a eficiência das lâmpadas diminui. Nesse caso, é preciso aumentar a potência para obter o mesmo resultado, o que acelera o desgaste das lâmpadas. Mantenha-os sempre limpos.
Outra dica importante: certifique-se de que sua fonte de alimentação seja capaz de suportar a corrente inicial. A vantagem de usar sistemas revestidos de ouro é que é possível reduzir a potência total utilizada, mantendo ainda assim a temperatura exata necessária para a cura do wafer.