Menghentikan pencemaran wafer: Cara mengendalikan lampu IR di zon pembilasan
Sejujurnya, proses pembilasan dan pengeringan wafer merupakan proses yang sangat rumit. Lampu inframerah berkuasa tinggi diletakkan betul-betul di sebelah alat penyembur air dan bahan kimia. Ini merupakan situasi yang berisiko tinggi untuk berlakunya kerosakan.
Jika tiub lampu pecah dalam keadaan seperti ini, bukan sahaja anda perlu menghadapi masalah lampu yang rosak, tetapi juga serpihan kaca yang boleh merosakkan wafer tersebut. Ini tentu akan menurunkan kualiti wafer tersebut.
Masalah akibat kejutan haba
Tiub kuarsa biasa tidak mampu menahan haba atau sejuk yang ekstrem. Apabila titisan air sejuk terkena tiub yang beroperasi pada suhu 600°C, kaca tersebut akan menyusut dengan cepat di satu titik tertentu. Inilah yang menyebabkan retakan pada kaca tersebut.
Untuk mengatasi masalah ini, kita menggunakan kaca kuarsa yang lebih tahan lama, serta lapisan pelindung yang tahan air. Lapisan ini berfungsi sebagai pelindung yang melindungi komponen pemanas daripada cecair, sambil membolehkan cahaya inframerah melewati lapisan tersebut untuk mengeringkan wafer.
Mencegah masuknya serpihan
Untuk memastikan tiada apa-apa yang boleh menyentuh wafer, kita menggunakan sistem pengasingan ganda. Lampu tersebut diletakkan di dalam sarung yang kedap bahan kimia. Ini berfungsi sebagai pelindung yang menghalang cecair daripada masuk ke dalam komponen pemanas. Kita juga menggunakan penutup yang kukuh pada hujung tiub tersebut. Jika kelembapan masuk ke dalam sambungan elektrik, ia boleh menyebabkan litar pintas dan kerosakan pada lampu. Penutup ini dapat mengelakkan perkara tersebut daripada berlaku.
Apa yang perlu dilakukan semasa pemasangan
Penggunaan lapisan pelindung yang tahan air memang akan mengubah sedikit cara kerja sistem tersebut. Kerana adanya lapisan tambahan ini, haba tidak akan sampai ke komponen pemanas dengan cepat seperti sebelumnya. Anda perlu menyesuaikan masa pemanasan dan tetapan kuasa agar sesuai dengan lapisan tambahan ini. Selain itu, pastikan kipas penyejuk berfungsi dengan baik agar komponen pemanas tetap sejuk semasa proses pengeluaran yang memerlukan beban yang tinggi.
Pemasangan komponen ini ke dalam rak yang ada sebenarnya sangat mudah. Hanya satu nasihat: pastikan penutup tersebut dipasang dengan ketat. Sedikit saja celah pun sudah cukup untuk kelembapan masuk ke dalam sistem tersebut.