Di bilik pengeluaran, perubahan suhu semasa proses pemprosesan photoresist tidak akan menyebabkan amaran yang serius. Ia hanya akan mengurangkan kualiti produk, satu keping wafer pada satu masa. Dalam unit litografi dan lini pembungkusan pula, keseragaman suhu bukanlah sesuatu yang penting. Ia merupakan syarat asas untuk proses pengeluaran berjalan dengan lancar.
Apa yang penting dalam proses ini
Kami menggunakan pemanas berbentuk elemen inframerah gelombang pendek (SWIR) bersama tingkap kuarza untuk memastikan suhu dapat dikawal dengan tepat. Ini membolehkan suhu naik dengan cepat dan mengurangkan inersia termal. Di kawasan pemprosesan, keseragaman suhu pada tahap wafer dikekalkan pada tahap ±0.1°C, dan nilai suhu tetap stabil walaupun proses berlangsung secara berterusan.
Pemanas ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100: kotak penutup yang kedap, bahan yang kurang mengeluarkan gas, serta sistem penapisan yang efektif untuk mengelakkan kehadiran zarah-zarah berbahaya. Proses pemanggangan photoresist juga dapat dikawal dengan baik kerana pemanas tersebut menggunakan sistem kawalan suhu berbentuk lingkaran tertutup, bukan bergantung pada pertimbangan manusia.
Mengapa cara ini berkesan
Anda memerlukan suhu yang dapat dikawal dengan tepat, bukan suhu yang tidak pasti. Dalam proses pembersihan dan pengeringan wafer, suhu yang stabil dapat mengurangkan kelembapan, sekaligus mengelakkan masalah pada bahagian tepi wafer. Dalam proses litografi pula, suhu yang stabil membantu mengawal dimensi wafer dengan lebih baik, sehingga mengurangkan keperluan untuk membaiki wafer yang rosak.
Kelebihannya ialah kurangnya variasi suhu, lebih sedikit bahan buangan, dan masa proses yang dapat diramalkan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana proses pemanasan berlaku dengan cepat dan tepat, tanpa menjejaskan kualiti wafer.
Apa yang perlu dipertimbangkan semasa pemasangan
Pemanas ini boleh disambungkan kepada peralatan dan sistem sedia ada di kilang, tetapi antaramukanya harus sesuai dengan mesin tersebut, termasuk voltan kawalan, jenis penyambung, dan logik pengesanan. Pastikan peralatan pemasangan sesuai untuk bilik bersih, dan periksa jarak antara komponen pemanas dengan permukaan wafer. Prestasi pemanas bergantung pada kontak mekanikal yang baik dan aliran udara yang terkawal.
Dengan spesifikasi voltan dan saiz yang sesuai, pemanas ini akan berfungsi dengan baik dari hari ke hari.