Hentikan penggunaan pemanas udara: Cara yang lebih baik untuk mengeringkan wafer
Kami telah menggantikan pemanas jenis resistif yang lama di kilang-kilang semikonduktor dengan sistem pengering inframerah digital. Mengapa? Kerana memanaskan seluruh ruang pembakar hanya untuk mengeringkan satu wafer merupakan pembaziran tenaga yang besar. Ia sama seperti memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanggang sepotong roti.
Menghantar haba ke tempat yang sepatutnya
Kebanyakan ketuhar konvensional menghabiskan masa yang lama untuk memanaskan udara. Sistem inframerah kami mengatasi masalah ini. Ia menggunakan radiasi gelombang pendek untuk menghantar tenaga terus ke permukaan wafer.
Kami menggunakan kawalan digital berbasis PID untuk menyesuaikan kuasa pemanasan secara masa nyata. Ini membantu mengelakkan masalah “overshoot” yang sering berlaku pada sistem analog—di mana suhu terus meningkat setelah mencapai sasaran. Dengan cara ini, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer dapat dikurangkan. Jejak karbon juga berkurangan.
Komponen-komponen penting dalam sistem kawalan
Sambungan wayar perlu dilakukan dengan teliti. Kami menggunakan sistem pensuisan frekuensi tinggi. Anda memerlukan sistem yang mampu mendengar isyarat dari termokopel dan menyesuaikan kuasa lampu dalam masa milisaat. Jika kawalan tersebut lambat, ia akan menyebabkan masalah—wafer boleh terbakar atau masih basah. Untuk mengelakkan hal ini, kami biasanya menggunakan SCR. Ini memastikan penghantaran tenaga berjalan dengan stabil.
Cabaran: Menguruskan haba
Masalahnya adalah, array inframerah berkepadatan tinggi akan menjadi sangat panas. Walaupun kita dapat menjimatkan tenaga semasa proses pengeringan, kipas penyejuk perlu bekerja keras untuk mengelakkan komponen elektronik daripada rosak. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, haba akan merosakkan sensor dan menyebabkan keseluruhan sistem berhenti berfungsi. Ini merupakan trade-off yang perlu diuruskan dengan baik.
Apa maknanya bagi kilang tersebut?
Pada akhirnya, yang penting adalah jumlah tenaga yang digunakan untuk mengeringkan setiap wafer. Kita mengubah proses yang lambat dan memerlukan banyak tenaga menjadi proses yang cepat dan efisien. Bagi mereka yang ingin mengurangkan penggunaan tenaga di kilang, ini merupakan cara yang paling efektif. Wafer dapat diproses lebih cepat, dan bil tenaga juga akan berkurangan. Ini merupakan situasi yang saling menguntungkan.