왜 반도체 제조 공장에서는 석영 쉴드를 사용하는가? 반도체 제조 공장에서 일한다면, 적외선을 이용한 경화 방식이 가장 효과적이라는 것을 알고 있을 것입니다. 이 방식은 깔끔하고 친환경적이며, 에너지를 직접 기판에 전달하여 작업을 완료할 수 있습니다. 하지만 문제가 있...

서론 간단히 말해보겠습니다. 웨이퍼 생산 공장을 운영한다면, 열 안정성이 단순히 ‘있으면 좋은 기능’이 아니라, 근본적으로 중요한 요소라는 것을 알고 있을 것입니다. 만약 공정에서 0.1°C 이내의 일관된 온도가 필요하다면, 매번 정확하게 작동하는 히터가 필요합니다....

300mm 공정에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C 정도의 온도 변동이 발생해도 큰 경고 신호로 나타나지 않습니다. 대신, 측정 시 선의 폭에 변화가 생기고, 그 결과 불량 웨이퍼가 발생하게 됩니다. 열 관리가 이미 매우 중요하기 때문에, 히터는 단순한...