Mendapatkan Data Termal yang Akurat di Pabrik Manufaktur
Jika Anda berusaha membangun “pabrik cerdas”, Anda pasti menyadari bahwa perangkat lunak canggih saja tidaklah cukup. Anda tidak bisa sekadar membeli alat pengukur suhu dan menganggapnya sudah cukup. Anda membutuhkan perangkat keras yang benar-benar mampu berkomunikasi dengan data yang ada.
Dalam hal pemanasan semikonduktor, masalah utamanya bukanlah pada pemanas itu sendiri, melainkan pada mekanisme umpan baliknya. Itulah sebabnya kita menggunakan sistem inframerah berkinerja tinggi—sistem ini dapat bereaksi dengan cepat sehingga dapat mengikuti ritme produksi yang digital.
Masalah terkait umpan balik termal
Menciptakan kondisi suhu yang seragam pada wafer merupakan hal yang sulit. Kita menggunakan termokopel khusus yang dipasangkan dengan pemanas inframerah untuk mencapai tujuan tersebut.
Namun, bacaan suhu dasar saja tidaklah cukup. Kita membutuhkan waktu respons yang singkat, yaitu dalam hitungan milidetik. Jika sensor Anda lambat, maka mekanisme PID akan overshoot. Akibatnya, silikon akan mengalami tekanan termal, dan bahan tersebut akan terbuang sia-sia. Kami merancang sensor-sensor ini agar mampu menangani panas yang intens dari gelombang inframerah tanpa mengalami gangguan atau kelelahan.
Membuat data menjadi lebih berguna
Tujuannya adalah memiliki gambaran digital dari proses pemanasan tersebut. Kita menghubungkan termokopel ini ke sistem digital sehingga kita dapat melihat profil suhu secara real-time.
Tidak perlu lagi menggunakan alat pengukur analog yang merepotkan. Semuanya berubah menjadi sinyal digital yang langsung masuk ke PLC. Dengan demikian, kita dapat melihat bagaimana panas tersebar di permukaan substrat.
Kompromi dan tantangan
Data berkecepatan tinggi tentu memiliki kelemahan tersendiri. Semakin sensitif termokopel tersebut, semakin besar pula risiko gangguan akibat derau listrik dari sumber daya inframerah. Ini merupakan masalah yang menyulitkan. Jika Anda tidak menggunakan kabel pelindung dan tidak menyetel grounding dengan benar, maka EMI akan masuk ke dalam sinyal tersebut. Akibatnya, data yang dihasilkan akan menjadi noise acak belaka.
Kami merancang sistem-sistem ini agar dapat digunakan sebagai pengganti perangkat lama. Anda tidak perlu mengganti seluruh komponen pemanas hanya untuk mendapatkan data digital. Yang penting adalah mendapatkan data yang akurat dan dapat diandalkan dari area panas ke server. Sangat sederhana, bukan?