נורת חימום בעלת שליטה בעוצמת האור

בחדר הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, הכל תלוי בדיוק רב. שינוי של חצי מעלה בפרופיל החימום עלול לגרום לשינויים של ננומטרים בממדים החשובים של השבב. הקווים...