Comment éviter la contamination des wafer : comment gérer les lampes infrarouges dans les zones de rinçage
soyons honnêtes : l’étape de rinçage et de séchage des wafer est une phase particulièrement délicate. On a affaire à des lampes infrarouges à haute puissance, placées juste à côté de buses d’eau et de produits chimiques. C’est un véritable risque de catastrophe.
Si une lampe tombe en panne dans cet environnement, ce n’est pas seulement une ampoule cassée qui se pose problème. Il y a aussi des éclats et des particules qui peuvent endommager les wafer. Cela entraîne immédiatement une diminution de la qualité des produits finis.
Le problème lié au choc thermique
Les tubes en quartz standard ne peuvent pas résister ni à la chaleur, ni au froid. Lorsqu’une goutte d’eau froide touche un tube fonctionnant à 600°C, le verre se contracte instantanément en un seul point. C’est ainsi que des fissures apparaissent.
Pour éviter cela, nous utilisons du verre en quartz renforcé, accompagné d’un revêtement imperméable. Ce revêtement agit comme un bouclier, protégeant les composants électriques des liquides, tout en permettant à la lumière infrarouge de passer pour sécher les wafer.
Comment empêcher toute contamination
Pour s’assurer que rien ne vient entrer en contact avec les wafer, nous utilisons un système de containment double. La lampe est placée à l’intérieur d’un étui hermétique et résistant aux produits chimiques. Cela fonctionne comme une sorte d’assurance : si le filament ou le tube intérieur se casse, l’étui extérieur retient tous les éclats de verre. Nous utilisons également des joints solides sur les extrémités du tube. Si l’humidité pénètre dans les connexions électriques, cela peut provoquer des courts-circuits et des lampes endommagées. Les joints empêchent cela.
Ce à quoi vous pouvez vous attendre lors de l’installation
L’ajout d’un revêtement imperméable modifie légèrement les choses. Comme il y a plus de matériaux, la chaleur n’atteint pas les composants aussi rapidement qu’avec un tube nu. Vous devrez probablement ajuster les temps d’allumage et les paramètres de puissance en fonction de cette masse supplémentaire. Vérifiez également vos ventilateurs de refroidissement : il est important que la boîtier reste frais pendant les périodes de production intensives.
Il est assez simple d’installer ces éléments dans votre rack existant. Un seul conseil : assurez-vous que les joints soient bien serrés. Un petit interstice suffit pour que l’humidité s’y infiltre.