Comment choisir les bons réflecteurs pour le séchage des wafern
Lors du séchage des wafern, tout dépend de la manière dont on gère la chaleur. La plupart des gens pensent que la solution consiste simplement à augmenter la puissance du système, mais c’est une perte inutile d’énergie. Nous nous concentrons plutôt sur les réflecteurs : ce sont eux qui permettent à l’énergie infrarouge d’atteindre réellement le substrat, plutôt que de se contenter de chauffer la pièce entière.
Surtout aujourd’hui, avec l’insistance pour avoir des usines « vertes », l’objectif n’est pas d’augmenter la puissance, mais de faire en sorte que chaque photon soit utilisé efficacement.
Où va vraiment la chaleur ?
Pensez-y : une lampe de séchage sans réflecteur gaspille en fait la moitié de son énergie. C’est beaucoup d’argent gaspillé. Nous utilisons donc des revêtements en or ou en aluminium pour renvoyer cette énergie infrarouge vers le wafer. Ainsi, le flux thermique augmente, sans avoir besoin d’augmenter la puissance de la lampe. Une meilleure réflexivité signifie moins de kilowattheures par wafer. C’est simple comme ça.
Choisir les bons matériaux
On ne peut pas utiliser n’importe quel métal. Tout dépend de la température atteinte dans la zone de séchage. L’aluminium de haute pureté convient pour la plupart des cas. Mais lorsque les conditions deviennent extrêmement intenses, nous utilisons du quartz recouvert d’or ou des céramiques spécialisées. Pourquoi ? Parce que le chauffage et le refroidissement constants endommagent les matériaux moins chers. De plus, la forme du réflecteur doit être parfaite. Même une légère erreur de quelques millimètres peut entraîner des points chauds, ce qui provoque des défauts sur le wafer.
Équilibrer puissance et espace
Pour réduire l’empreinte carbone dans une usine, il suffit généralement de réduire l’énergie inutilement consommée. Avec un système à haute réflexivité, on peut utiliser des lampes à faible puissance tout en atteignant la température souhaitée. De plus, les systèmes de refroidissement n’ont pas à travailler autant. C’est une solution gagnant-gagnant.
Mais il y a un problème : ces réflecteurs concentrent intensément la chaleur. Si la vitesse de transport du wafer varie, cela peut entraîner un séchage excessif des bords du wafer. Il faut donc maintenir une synchronisation parfaite entre la vitesse de transport et l’intensité du rayonnement. Sinon, on obtient des produits défectueux.
Nous concevons ces réflecteurs pour qu’ils puissent être facilement remplacés. Ainsi, on peut atteindre les objectifs en matière d’émissions, sans avoir à démonter et reconstruire toute l’équipement.