جلوگیری از آلودگی ویفرها: چگونه از لامپهای مادون قرمز در مناطق شستشو استفاده کنیم؟
باید صادق باشیم: مرحله شستشو و خشک کردن ویفرها، فرآیندی پرسترس است. لامپهای مادون قرمز با توان بالا در کنار فوارههای آب و مواد شیمیایی قرار دارند؛ این وضعیت میتواند منجر به فاجعه شود.
اگر لامپ در چنین محیطی خراب شود، شما فقط با یک لامپ خراب روبرو نخواهید بود؛ بلکه تکههای شیشهای نیز روی ویفرها خواهند ریخت. این امر میتواند باعث کاهش کیفیت ویفرها شود.
مشکلات ناشی از شوک حرارتی
لولههای کوارتز معمولی نمیتوانند گرما یا سرما را تحمل کنند؛ یعنی هر دو را. وقتی که یک قطره آب سرد به لولهای که در دمای ۶۰۰ درجه سانتیگراد کار میکند برخورد کند، شیشه در یک نقطه به سرعت کوچک میشود؛ این امر باعث ایجاد ترکهایی در لوله میشود.
برای جلوگیری از این مشکل، از شیشه کوارتز مقاوم و پوششهای ضدآب استفاده میکنیم؛ این پوششها در واقع به عنوان سپر عمل کرده و مانع از نفوذ مایعات به الکترودلامپ میشوند، در حالی که اجازه میدهند نور مادون قرمز به داخل لوله برود تا ویفرها خشک شوند.
جلوگیری از ورود ذرات به داخل لوله
برای اطمینان از اینکه هیچ چیزی به ویفرها برخورد نکند، از سیستمهای محافظتی دوگانه استفاده میکنیم؛ لامپ درون یک غلاف دربسته و مقاوم در برابر مواد شیمیایی قرار دارد.
میتوانید آن را مانند یک بیمه در نظر بگیرید؛ اگر فیلامنت لامپ خراب شود یا لوله داخلی آن ترک بخورد، غلاف بیرونی تمام ذرات را جذب خواهد کرد؛ هیچ تکه شیشهای در محیط وجود نخواهد داشت. همچنین از درزگیرهای محکم برای جلوگیری از نفوذ رطوبت به اتصالات الکتریکی استفاده میکنیم؛ این درزگیرها از ایجاد مشکلات ناشی از کوتاهشدن مدارها جلوگیری میکنند.
چه انتظاری داشته باشیم در هنگام نصب
استفاده از پوششهای ضدآب کمی تغییراتی در عملکرد لامپ ایجاد میکند؛ زیرا وجود مواد اضافی باعث میشود گرما به سرعت به ویفرها نرسد.
احتمالاً باید زمانهای راهاندازی لامپ و تنظیمات توان آن را تغییر دهید تا این مشکل برطرف شود. همچنین باید به فنهای خنککننده نیز توجه کنید؛ باید مطمئن شوید که محفظه لامپ در طول فرآیندهای تولید، خنک باقی بماند.
نصب این لامپها در رکهای موجود نسبتاً آسان است؛ فقط یک نکته مهم وجود دارد: مطمئن شوید که درزگیرها به خوبی بسته شدهاند؛ حتی کوچکترین شکاف نیز میتواند باعث نفوذ رطوبت شود.