در فرآیند تولید، حتی تغییر نیم درجهای در دمای پخت، میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود؛ این امر میتواند ساعتها کار لیتوگرافی را بیفایده کند. لامپهای مادون قرمز مورد استفاده برای پردازش گرافن، به خوبی این مشکل را حل میکنند. آنها جایگزین هیترهای معمولی میشوند و گرمای مناسبی را فراهم میکنند تا دمای سطح قطعات در محدوده مشخصی باقی بماند.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ما این منبع تولید نور مادون قرمز را برای داشتن سرعت و قابلیت تکرارپذیری ساختیم؛ بنابراین این منبع به سرعت و به شکل قابل پیشبینی واکنش نشان میدهد. یکنواختی دمای سطح قطعات در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود. این سیستم در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ کار میکند، بدون ایجاد ذرات یا گازهای مضر؛ این امر باعث کاهش تعداد نقصها میشود. خروجی این سیستم در طول بیش از ۵,۰۰۰ ساعت پایدار باقی میماند؛ تغییر دما نیز کمتر از ۵٪ است. بنابراین، هر قطعه از انرژی یکسانی برخوردار میشود. پس از باز و بسته شدن درها، لامپها در عرض چند ثانیه دوباره به حالت پایدار خود برمیگردند؛ بنابراین پروفایلهای مربوط به فرآیند پخت نیز حفظ میشوند.
چرا این راهحل مناسب است؟
در فرآیند پردازش فوتورزیست، مرحله پخت، استرس فیلم، حساسیت آن و پروفایل لبههای آن را تعیین میکند. با استفاده از این لامپها، میتوان کنترل بهتری بر فرآیند پخت داشت؛ این امر باعث کاهش کارهای تکراری و بهبود یکنواختی قطعات میشود. سرعت بالای این لامپها، زمان فرآیند را کاهش میدهد، بدون اینکه دقت کنترل دما کاهش یابد؛ همچنین، کارایی بالای این لامپها، هزینه عملیاتی را کاهش میدهد. این راهحل، جایگزینی معادل استانداردهای بینالمللی است؛ بنابراین نیازی به تغییراتی در خطوط تولید وجود ندارد؛ شما میتوانید از استانداردهای فعلی خود استفاده کنید و همچنان به بهبود بازدهی تولید ادامه دهید.
نکاتی که باید در نظر گرفته شوند:
خروجی لامپ، به تمیزی پنجره کوارتز و صافی نصب لامپ حساس است. اگر میخواهید یکنواختی دما را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنید، باید از گشتاور مشخص شده و روشهای پاکسازی مناسب استفاده کنید. این منبع نور، به یک منبع تغذیه با تغییرات کم و یک پیرومتر دقیق برای کنترل دوربسته نیاز دارد؛ بنابراین باید کارهای مربوط به اتصالات را از قبل برنامهریزی کنید. پس از تنظیم صحیح، این سیستم میتواند ۲۴/۷ کار کند؛ با فواصل تعمیراتی قابل پیشبینی، زمان توقف غیرمنتظره به حداقل میرسد.