Controlar la temperatura en el proceso de curado de obleas
Aquí está la verdadera dificultad en las fábricas de semiconductores: es necesario aplicar calor a las obleas, y hay que hacerlo rápidamente. Pero no se puede simplemente aumentar la intensidad del calor sin más; si se sobrecalienta el área que rodea a la oblea, surgen problemas.
Para resolver esto, utilizamos lámparas de curado por infrarrojos certificadas, junto con reflectores recubiertos de oro. ¿Cuál es el objetivo? Evitar el desperdicio de energía.
¿Por qué el oro?
La mayoría de las personas empiezan utilizando reflectores de aluminio, pero esos no son adecuados. Absorben demasiada energía y dispersan la luz por todas partes. El oro es diferente: es excelente para reflejar la luz infrarroja cercana. Al utilizar una capa fina de oro, basically decimos a los fotones: “No golpeen el marco de la máquina, vuelvan a la oblea”. Esto permite reducir la densidad de calor y acortar el tiempo necesario para alcanzar la temperatura adecuada. Es eficiente y limpio.
Cuidado con la densidad de calor
Pero hay un problema: cuando se utiliza oro para concentrar toda esa energía, la densidad de calor en la superficie aumenta enormemente. Se vuelve muy caliente. Aquí es donde hay que tener cuidado con el sistema de refrigeración. Si el flujo de aire o los disipadores de calor no son suficientes, se producirán deformaciones en los sustratos o se dañarán las lámparas. Por lo general, dedicamos bastante tiempo a ajustar la potencia y la forma de los reflectores para lograr el equilibrio perfecto en términos de W/cm².
Manejo de los componentes
Estas lámparas están diseñadas para entornos limpios, por lo que su diseño es sencillo. Se adaptan fácilmente a los espacios reducidos de las fábricas. Un punto importante: el oro es sensible. Si se acumula polvo en esos reflectores, la eficiencia disminuye. Entonces, hay que aumentar la potencia para obtener el mismo resultado, lo cual acelera el desgaste de las lámparas. Manténgalas impecables.
Consejo adicional sobre los cables: asegúrese de que su fuente de alimentación pueda soportar la corriente inicial necesaria. La ventaja de los sistemas recubiertos de oro es que se puede reducir la potencia total sin que la oblea pierda su temperatura adecuada.