Správné zahřívání waferů v továrnách na výrobu polovodičů
Zde spočívá skutečná výzva v továrnách na výrobu polovodičů: je potřeba wafer intenzivně zahřát, a to rychle. Ale nemůžete prostě zvýšit intenzitu záření a doufat v to nejlepší – pokud totiž přehřejete oblast kolem waferu, máte problém.
Řešíme to tím, že používáme certifikované IR lampy spolu s odrazkami pokrytými zlatem. Cílem je minimalizovat plýtvání energií.
Proč zlato?
Většina lidí začíná s hliníkovými odrazkami, ale ty prostě nejsou dostatečné. Pohlcují příliš mnoho energie a rozptylují světlo všude kolem. Zlato je jiné – dokonale odráží blízké infračervené světlo.
Pomocí tenké vrstvy zlata v podstatě říkáme fotonům: „Nedopadněte na rám stroje – vraťte se zpět na wafer.“ Tím se snižuje intenzita tepla a zkracuje se doba potřebná k dosažení požadované teploty. Je to efektivní a čisté řešení.
Dávejte pozor na hustotu tepla
Je tu však jeden problém – když použijete zlato k koncentraci této energie, hustota tepla na povrchu prudce stoupá. Stává se tam opravdu horko.
Zde je potřeba dávat pozor na chlazení. Pokud vaše systémy pro odvod tepla nejsou dostatečné, může dojít ke zkreslení povrchu waferu nebo k poškození lamp. Obvykle trávíme hodně času na doladění výkonu a tvaru odrazek, abychom dosáhli ideálních hodnot v jednotkách W/cm².
Praktické tipy
Tyto lampy jsou určeny pro čisté prostory, proto držíme jejich design co nejjednodušší. Vyhovují do úzkých prostor v továrnách bez potřeby boje o prostor.
Jednu věc je potřeba mít na paměti: zlato je citlivé. Pokud se na těch odrazcích usadí vrstva prachu, efektivita lampy klesne. Poté musíte zvýšit výkon, abyste dosáhli stejných výsledků – to však urychluje ničení lamp. Udržujte je tedy v perfektním stavu.
A ještě rychlý tip ohledně napájení – ujistěte se, že váš zdroj napájení dokáže zvládnout počáteční proud. Výhodou systému s odrazky pokrytými zlatem je, že můžete snížit celkový výkon a přesto udržet wafer přesně na požadované teplotě.