晶圆加热的安全距离

红外加热与热风加热：为何选择红外加热对晶圆处理至关重要 如果您考虑用红外加热取代热风加热技术，那您所做的不仅仅是更换一种加热器而已。实际上，您是在消除那种会拖慢整个加工过程的“热量传递延迟”问题。 漫长的等待时间 想象一下热风加热的原理：首先需要加热空气，然后等待腔室壁面变热，最后热量才能传递到晶...