http://ir-heater-system.com/vi/tags/mattson/ Recent content in Mattson on Advanced Infrared Heating Systems Hugo vi Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/vi/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/vi/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Thay bóng đèn Mattson RTP"></p> <p>Trên sàn sản xuất, một đặc tính đèn bị trôi không kích hoạt báo động. Nó biểu hiện dưới dạng điểm nóng 0,3°C trên toàn bộ wafer, sự dịch chuyển chậm <a href="https://henruite.com">trong</a> kích thước quan trọng và lớp photoresist không thể nướng đều. Khi công cụ Mattson RTP lão hóa, tính đồng đều nhiệt là yếu tố đầu tiên bị ảnh hưởng. Đèn thay thế mà chúng tôi sử dụng được thiết kế để kéo lại sự dịch chuyển đó và đưa kiểm soát quy trình trở lại vị trí cần thiết.</p>