Sưởi ấm theo khu vực cho phòng thí nghiệm bán dẫn tiên tiến

Trên sàn sản xuất, một sự lệch nửa độ trong nhiệt độ nướng đủ để loại bỏ toàn bộ lô. Bạn quan sát sự thay đổi của hồ sơ photoresist, thấy sự sai lệch...