Ngừng việc làm nóng không khí: Cách tốt hơn để sấy khô các wafer
Chúng tôi đã thay thế những bộ sưởi truyền thống trong các nhà máy chế tạo chip bằng các bộ điều khiển sấy bằng tia hồng ngoại kỹ thuật số. Tại sao ư? Bởi vì việc làm nóng toàn bộ buồng sấy chỉ để sấy một chiếc wafer là sự lãng phí năng lượng khổng lồ. Điều này giống như việc làm nóng cả ngôi nhà chỉ để nướng một ổ bánh mì thôi.
Đưa nhiệt độ vào đúng vị trí cần thiết
Hầu hết các lò sấy kiểu đối lưu dành quá nhiều thời gian để làm nóng không khí. Hệ thống sấy bằng tia hồng ngoại của chúng tôi giải quyết được vấn đề này. Chúng sử dụng bức xạ sóng ngắn để truyền năng lượng trực tiếp vào vật liệu cần sấy.
Chúng tôi sử dụng bộ điều khiển kỹ thuật số dựa trên nguyên lý PID để điều chỉnh công suất một cách tức thì. Điều này giúp tránh tình trạng nhiệt độ tăng quá mức sau khi đạt mục tiêu đã đề ra. Khi chúng ta không còn phải chiến đấu với luồng không khí nữa, thì thời gian sấy sẽ rút ngắn. Lượng khí thải carbon cũng giảm đi. Đó chính là giải pháp hiệu quả.
Các yếu tố quan trọng trong chu trình điều khiển
Các đường dây điện phải được kết nối chặt chẽ. Chúng tôi sử dụng công nghệ chuyển mạch tần số cao. Bạn cần một hệ thống có thể theo dõi nhiệt độ và điều chỉnh công suất của bóng đèn trong vài milligiây. Nếu bộ điều khiển hoạt động chậm, bạn sẽ gặp rắc rối: hoặc là wafer bị cháy, hoặc là vẫn còn hơi ẩm trên bề mặt wafer. Điều này chắc chắn không tốt chút nào. Để mọi thứ diễn ra suôn sẻ, chúng tôi thường sử dụng các thiết bị SCR. Điều này giúp duy trì mức công suất ổn định và dễ dự đoán.
Nhược điểm: Việc kiểm soát nhiệt độ
Vấn đề là: các bộ phát tia hồng ngoại có mật độ cao sẽ rất nóng. Mặc dù chúng giúp tiết kiệm năng lượng trong quá trình sấy, nhưng các quạt làm mát vẫn phải hoạt động liên tục để ngăn các thiết bị điện tử bị hỏng. Nếu hệ thống thông gió không tốt, nhiệt độ cao sẽ khiến các cảm biến hoạt động sai, và toàn bộ hệ thống sẽ ngừng hoạt động. Đó là một sự đánh đổi, nhưng có thể được giải quyết nếu chúng ta lên kế hoạch kỹ lưỡng.
Ý nghĩa của điều này đối với nhà máy
Cuối cùng, mọi thứ đều xoay quanh lượng năng lượng tiêu thụ trên mỗi chiếc wafer. Chúng tôi biến quy trình sấy chậm và tiêu tốn nhiều năng lượng thành quy trình nhanh chóng và hiệu quả hơn. Đây chính là giải pháp tốt nhất cho những ai muốn giảm lượng khí thải carbon trong nhà máy. Bạn có thể sấy các wafer nhanh hơn, và chi phí điện cũng giảm xuống. Đó chính là một chiến thắng cho cả hai bên.