http://ir-heater-system.com/uk/tags/%D0%BC%D1%8D%D1%82%D1%82%D1%81%D0%BE%D0%BD/ Recent content in Мэттсон on Advanced Infrared Heating Systems Hugo uk Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/uk/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/uk/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Заміна лампи Mattson RTP"></p> <p>На виробничому майданчику зміщений профіль лампи не викликає тривог. Він проявляється як точкове нагрівання 0,3°C по всій пластині, повільне відхилення критичного розміру та нерівномірне пропікання фоторезисту. Коли інструмент Mattson RTP старіє, першою погіршується термічна однорідність. Замінні лампи, які ми використовуємо, спроєктовані для корекції цього дрейфу та повернення контролю процесу на необхідний рівень.</p> <p>Технічним ядром є точність інфрачервоного нагріву. Ми поєднуємо геометрію камери Mattson із джерелами короткохвильового інфрачервоного випромінювання, забезпечуючи субміліметрову однорідність по площині пластини та відтворювані температурні профілі від прогону до прогону. Масив ламп калібрується для утримання ±0,1°C по активній зоні, тож кроки м’якого і твердого пропікання відповідають термічному бюджету, необхідному для літографії.</p>