http://ir-heater-system.com/uk/tags/%D0%B7%D0%BE%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Зонований on Advanced Infrared Heating Systems Hugo uk Wed, 03 Jun 2026 01:35:17 +0800 http://ir-heater-system.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 03 Jun 2026 01:35:17 +0800 http://ir-heater-system.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Зональне опалення для передового виробництва пластин"></p> <p>На виробничому майданчику відхилення температури запікання на півградуса достатнє, щоб бракувати всю партію. Ви спостерігаєте зміщення профілю фоторезисту, бачите появу зсуву критичного розміру на метрології, і показник виходу продукції потрапляє у звіт за вашу зміну.<br> Традиційні печі та однозонні гарячі плити змушують вибирати між тепловим бюджетом і продуктивністю. Ми розробили зоноване нагрівання, щоб уникнути такого компромісу.</p> <p><strong>Що технічно важливо</strong><br> Кожна зона використовує незалежно керовані галогенні лампи з короткохвильовим NIR-спектром, завдяки чому пластина швидко досягає заданої температури без перегріву камери. У межах усього технологічного вікна рівномірність по пластині залишається в межах ±0.1°C, що необхідно для відтворюваного софт-бейку і хард-бейку в шарах фотолітографії.<br> Обладнання розраховане на роботу у чистій кімнаті: сумісне з класом 1–100, підтверджено відсутність генерації часток завдяки in-situ моніторингу, а також спроектоване з урахуванням нульового незапланованого простою. Контроль температури між циклами залишається точним, що скорочує час кваліфікації та розширює технологічне вікно.</p>