Чому золотисті відбивачі насправді мають значення для ваших пластин
Якщо ви коли-небудь працювали у чистильній кімнаті для полупровідників, то знаєте, з якими труднощами доводиться стикатися. Ви витрачаєте величезну кількість енергії на інфрачервоні лампи, але значна частина цієї енергії просто зникає. Вона відбивається в неправильному напрямку, потрапляє на стіни чи витікає вбік, тоді як ваша пластина все ще чекає на необхідне тепло.
Це марна трата електроенергії та проблема для продуктивності вашого обладнання. Саме тут і приходить на допомогу золото.
Секрет полягає у відбитті світла.
Звісно, можна використовувати алюміній – він дешевший. Але алюміній не підходить для роботи при конкретних температурах, необхідних для обробки пластин. Золото ж є надзвичайно ефективним у відбитті довгохвильового та середньохвильового інфрачервоного випромінювання.
Додавши тонкий шар високочистого золота до корпусу відбивача, ми фактично змушуємо фотони повертатися прямо до кремнію. Таким чином ви можете бути впевнені, що тепло дійсно потрапляє до пластини.
Але є й недоліки…
Проблема полягає у тому, що коли енергія концентрується так сильно, ситуація може стати складною. Ви отримуєте значно вищу щільність тепла без необхідності підвищувати потужність лампи – це чудово. Але це також означає, що межі похибок зменшуються. Якщо орієнтація лампи порушена навіть на кілька міліметрів, це може призвести до появи „точок підвищеної температури“.
Оскільки передача енергії є набагато ефективнішою, ніж у звичайних сталевих відбивачів, важливо правильно налаштувати контролери температури. Вони повинні бути достатньо швидкими, щоб запобігти перепадам температури.
Як підтримувати роботу обладнання
Ми створили ці відбивачі як замінники для існуючих. Вам не доведеться розбирати всю систему лише для оновлення обладнання, що значно скорочує час простою.
Але є одне застереження: золото є досить делікатним матеріалом. Воно не терпить хімічного забруднення. Якщо у процесі використовуються корозійні гази, необхідно захищати ці відбивачі. Інакше золото може пошкодитися чи окислитися, що значно знизить їх ефективність. Те саме стосується і перегріву – якщо покриття пошкоджується, термічна однорідність зникає. І саме тоді починаються проблеми з якістю продукції.
Необхідно підтримувати відбивачі в чистоті та правильній орієнтації. Решту завдань виконає фізика.