http://ir-heater-system.com/tr/tags/is%C4%B1sal/ Recent content in Isısal on Advanced Infrared Heating Systems Hugo tr Tue, 30 Jun 2026 01:47:43 +0800 http://ir-heater-system.com/tr/posts/thermal-analyzer-heating-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 01:47:43 +0800 http://ir-heater-system.com/tr/posts/thermal-analyzer-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Isı analizörü ısıtma lambası"></p> <p>Litografide, yumuşak veya sert pişirme işlemleri sırasında meydana gelen 1°C’lik sapmalar teorik olarak kalmaz. Bu sapmalar, çizgi genişliklerindeki değişiklikler, yüzeyde oluşan lekeler ve verim kaybı şeklinde kendini gösterir. Zaten sınırlı olan termal bütçe nedeniyle, fırın veya ısıtıcı cihazlar, fotoresisti doğru termal aralığın dışına itebilecek türden sapmalara izin veremez.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar:</strong><br> Termal analizörde kullanılan ısıtma lambası, kuvars kılıf içinde yer alan kısa dalga boylu kızılötesi halojen lambalardan oluşur. Bu lambalar, yaygın olarak kullanılan fotoresistlerin emilim <a href="https://o-yate.net">profillerine</a> uyacak şekilde ayarlanmıştır. Pişirme işlemi sırasında, wafer seviyesindeki homojenlik ±0,1°C civarında kalır ve ayar noktasının tekrarlanabilirliği sayesinde termal profil istenen seviyede tutulur.</p>