Neden büyük fırınları terk edip kızılötesi yöntemini kullanıyoruz?
Dürüst olalım: O eski tip konveksiyon fırınları, yarı iletken endüstrisinde adeta birer “dinozor” gibi. Hantal, yavaş ve kullanımı oldukça zor. İşte bu yüzden birçok üretim tesisi kızılötesi yöntemine geçiyor. Bu, sadece “çevre dostu” kurallara uymak veya kurşun gibi maddelerden kurtulmakla ilgili değil; asıl amaç süreci daha verimli hale getirmektir.
Konveksiyon fırınlarında ise, küçük bir wafer’i ısıtmak için tüm odayı ısıtmaya çalışıyorsunuz. Bu çok verimsiz bir yöntemdir. Kızılötesi yöntemi ise farklıdır; enerji doğrudan kaynaktan substrata aktarılır. Arada hiçbir aracı yoktur; havanın ısınmasını beklemeye gerek yoktur.
Bu kadar doğrudan bir yöntem olduğu için, işleri hızlandırmak için o kötü organik çözücülere veya kurşun içeren maddelere ihtiyaç duymazsınız. Ayrıca elektrik tüketimi de azalır. Enerji tasarrufu %30 ila %50 arasında olabilir.
Eğer hiç temiz oda ortamında bulundunuzysanız, toz sorunlarının ne kadar can sıkıcı olduğunu biliyorsunuzdur. Yüksek hızlı fanlar aslında tozu üflenen cihazlardır. Kızılötesi ısıtıcılar ise hareketsizdir; hareketli hava yoktur, uçuşan kirleticiler yoktur ve yakma sonucu oluşan dumanlar da kontrol altındaki alana sızmaz. Bu, temiz, sessiz ve kapalı bir döngüdür.
Ancak bu bir sihir değil. Doğru şekilde uygulanması gereken bazı şeyler var.
Kızılötesi yöntemi çok hızlıdır. Saniyeler içinde istenen sıcaklığa ulaşılabilir. Ancak bu hız çift taraflı bir kılıçtır. Eğer wafer doğru şekilde yerleştirilmemişse veya ısı yoğunluğu çok yüksekse, “sıcak noktalar” oluşur. Bir hata yaparsanız substratınız zarar görebilir. PID kontrol cihazlarına ve mesafe sensörlerine dikkat etmek gerekir; aksi takdirde malzemeleriniz zarar görür.
En iyi yanı ise… Karbon ayak izinin azalmasıdır. Uzun süren ısınma süreleri ortadan kalktığı için karbon ayak izi de azalır. Süreç sırasında sera gazı üretilmez, büyük bir elektrik tüketimi de olmaz. Bu yöntem, üretim tesislerine kolayca uyum sağlar ve yeşil enerji denetimlerinden rahatlıkla geçer. Basit ve etkili bir çözümdür.