Yüksek yük altındaki wafer işlemlerinde lamba arızalarıyla başa çıkma
Yarı iletken üretiminde kızılötesi lambaları maksimum kapasitede kullanırken işler karmaşık hale gelebilir. Eğer kuvars tüpü baskı altında patlarsa, sadece bozuk bir lamba ve duran üretim süreciyle karşı karşıya kalmazsınız; aynı zamanda cam parçaları ve tungsten filamentleri de waferlerin üzerine düşer. Bu gerçekten korkunç bir durum. Bir kez böyle bir patlama meydana gelirse tüm parti bozulabilir ve gün içindeki verimlilik tamamen kaybolur.
Basit bir çözüm: Güvenlik kılıfı
Bunu önlemenin bir yolunu bulduk. Kızılötesi lambaları açıkta bırakmak yerine, onları özel olarak tasarlanmış paslanmaz çelik kılıflara yerleştiriyoruz. Bunu bir güvenlik kafesi olarak düşünün. Eğer lamba aşırı ısınmadan dolayı yanarsa veya patlarsa, kılıf tüm parçaları içinde tutar. Böylece waferler temiz kalır. İşte bu kadar basit.
Malzemelerle ilgili detaylar
Temiz oda ihtiyaçlarına bağlı olarak 304 veya 316L paslanmaz çeliği kullanıyoruz. Bunları seçmemizin nedeni, yüksek sıcaklıklara dayanabilmeleridir; böylece lambalar gereken yerde kalır. Ayrıca, metalin ısındığında genişleyebilmesi için yeterli hava boşluğu olması gerekiyor; ancak bu boşluk o kadar büyük olmamalı ki parçalar kenarlardan geçemesin.
Zaman kaybının önlenmesi
Zaman kaybının zararlı olduğunu bildiğimiz için bu ürünler hızlı değiştirilebilecek şekilde tasarlanmıştır. Bozuk lambayı çıkartıp yerine yeni bir lamba takmak yeterlidir. Sadece bir lambayı tamir etmek için tüm ısıtma sisteminizi parçalamanıza gerek yoktur.
Avantaj ve dezavantajlar
Ancak burada bir dezavantaj var: Çelik katmanın eklenmesiyle kızılötesi ışığın iletimi biraz azalır. Metal, enerjinin bir kısmını emdiği için %100 ısı elde edilemez. Bunun telafisi için gücü artırmak veya waferlerin biraz daha uzun süre ısıda kalmasını sağlamak gerekebilir. Biraz daha az verimli mi? Evet. Ancak yüksek hacimli üretim yapıldığında, biraz daha uzun bir ısıtma süresi çok küçük bir bedeldir. Cam parçalarının waferleri bozmasından kaçınmak çok daha ucuzdur.