การทำความร้อนแบบแบ่งโซนสำหรับการผลิตเวเฟอร์ขั้นสูง

บนพื้นที่ผลิต การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอบเพียงครึ่งองศาก็เพียงพอที่จะทำให้ล็อตงานทั้งหมดเสียหายได้ คุณจะเห็นโปรไฟล์โฟโตเรซิสต์เปลี่ยนแปลง...