การรับมือกับปัญหาหลอดไฟเสียในกระบวนการผลิตวงจรระดับสูง
เมื่อคุณใช้หลอดไฟอินฟราเรดในการผลิตสารกึ่งตัวนำในปริมาณมาก ก็อาจเกิดปัญหาได้ หากหลอดไฟแตกเนื่องจากแรงดันสูง คุณจะไม่เพียงแต่สูญเสียหลอดไฟไปเท่านั้น แต่ยังมีเศษแก้วและลวดทังสเตนที่อาจตกลงมาบน wafer ของคุณอีกด้วย นี่เป็นเรื่องที่น่ากังวลมาก เพราะเพียงหลอดไฟแตกเพียงหลอดเดียวก็อาจทำให้วงจรการผลิตทั้งหมดเสียหายได้
วิธีแก้ปัญหาอย่างง่าย: การใช้ฝาครอบเพื่อความปลอดภัย
เรามีวิธีที่จะป้องกันปัญหานี้ได้ นั่นคือการนำหลอดไฟอินฟราเรดมาใส่ไว้ในฝาครอบที่ทำจากสแตนเลส ซึ่งจะช่วยป้องกันไม่ให้เศษแก้วและลวดทังสเตนตกลงมาบน wafer ของคุณ วิธีนี้ง่ายมาก
รายละเอียดเกี่ยวกับวัสดุที่ใช้
ขึ้นอยู่กับความต้องการของห้องปลอดเชื้อ เราจะเลือกใช้สแตนเลสชนิด 304 หรือ 316L โดยเลือกชนิดนี้เพราะมีความทนทานต่อความร้อนได้ดี ทำให้หลอดไฟยังคงอยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสมต่อไป
นอกจากนี้ เรายังให้ความสำคัญกับค่าความคลาดเคลื่อนของวัสดุด้วย คุณต้องมีช่องว่างระหว่างโลหะเพียงพอเพื่อให้โลหะสามารถขยายตัวได้เมื่อร้อนขึ้น แต่ก็ไม่ควรมีช่องว่างมากเกินไปจนทำให้เศษแก้วสามารถหลุดออกมาได้
เนื่องจากเราทราบดีว่าเวลาหยุดทำงานเป็นสิ่งที่ควรหลีกเลี่ยง เราจึงออกแบบให้สามารถเปลี่ยนหลอดไฟได้อย่างรวดเร็ว คุณเพียงแค่ดึงหลอดไฟเก่าออกแล้วใส่หลอดไฟใหม่เข้าไป คุณไม่จำเป็นต้องซ่อมแซมระบบการให้ความร้อนทั้งหมดเพียงเพื่อซ่อมหลอดไฟเพียงหลอดเดียว
ข้อเสียของวิธีนี้
อย่างไรก็ตาม การเพิ่มชั้นโลหะเข้ามาก็หมายความว่าความสามารถในการส่งผ่านแสงอินฟราเรดจะลดลงเล็กน้อย เพราะโลหะจะดูดซับพลังงานบางส่วนไป ดังนั้นคุณจะได้รับความร้อนไม่ 100%
เพื่อชดเชยข้อเสียนี้ คุณอาจต้องเพิ่มกำลังไฟหรือให้ wafer อยู่ในสภาพอุ่นนานขึ้นอีกเล็กน้อย แม้ว่าวิธีนี้อาจทำให้ประสิทธิภาพลดลงเล็กน้อย แต่เมื่อคุณต้องผลิตในปริมาณมาก การใช้เวลาในการให้ความร้อนนานขึ้นเล็กน้อยก็ถือเป็นราคาที่ถูกมากเมื่อเทียบกับการสูญเสีย wafer ทั้งหมดเพราะเศษแก้ว