http://ir-heater-system.com/ru/tags/rtp/ Recent content in RTP on Advanced Infrared Heating Systems Hugo ru Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/ru/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/ru/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Замена лампы Mattson RTP"></p> <p>На производственном участке дрейф профиля лампы не вызывает тревог. Он проявляется как горячая точка с отклонением в 0,3°C по всей пластине, медленное изменение критического размера и неравномерное запекание фоторезиста. При старении оборудования Mattson RTP первым ухудшается тепловое равномерство. Используемые нами сменные лампы сконструированы так, чтобы компенсировать этот дрейф и вернуть управление процессом в заданные параметры.</p> <p>Техническая основа — точность инфракрасного нагрева. Мы согласуем геометрию камеры Mattson с источниками коротковолнового инфракрасного излучения, обеспечивая субмиллиметровую равномерность по плоскости пластины и повторяемые температурные профили при каждом запуске. Массив ламп откалиброван на поддержание ±0,1°C в активной зоне, что позволяет этапам мягкого и жесткого запекания соответствовать тепловому бюджету, требуемому литографией.</p>